中国科学院光电技术研究所杜婧获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种用于物镜像质检测的光束扫描台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115524941B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211182405.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于物镜像质检测的光束扫描台是由杜婧;刘俊伯;全海洋设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于物镜像质检测的光束扫描台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于物镜像质检测的光束扫描台，是基于哈特曼波前测量原理的物镜像质检测台的子模块。所述光束扫描台包括XYZ电动移动台，光束反射镜组以及聚光镜。XYZ电动平移台可以实现聚光镜三自由度的高精度定位运动，使聚光镜可以沿着包含针孔阵列的掩模板做XY方向的扫描运动；光束反射镜组由两块反射镜组成，分别安装在电动移动台的X运动层和Y运动层，分别跟随电动移动台沿X和Y方向移动，可将物镜像质检测光源引入聚光镜组。聚光镜安装在XYZ电动移动台上，将物镜像质检测光源汇聚成点光源，照射至掩模板上。
本发明授权一种用于物镜像质检测的光束扫描台在权利要求书中公布了：1.一种用于物镜像质检测的光束扫描台，其是基于哈特曼波前测量原理的物镜像质检测台的子模块，其特征在于：所述光束扫描台包括XYZ电动移动台100，光束反射镜组200以及聚光镜300； 所述XYZ电动平移台100用于实现聚光镜300三自由度高精度定位运动，使聚光镜300可以沿着包含针孔阵列的掩模板做XY方向的扫描运动；所述光束反射镜组200由两块反射镜组成，分别安装在XYZ电动移动台100的X运动层和Y运动层，分别跟随XYZ电动移动台100沿X和Y方向移动，以将物镜像质检测光源引入聚光镜300；所述聚光镜300安装在所述XYZ电动移动台100上，用于将物镜像质检测光源汇聚成点光源，照射至掩模板上。
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