买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉安徽众合半导体科技有限公司申请的专利一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115535531B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211167483.5，技术领域涉及：B65G15/32；该发明授权一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线是由陈小飞;纵雷;代迎桃;陈军设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体公开了一种半导体基板预热流水线上料机构，包括至少两组输送皮带、输送带支撑架、输送带旋转装置、输送带驱动装置、基板定位装置和基板推送装置，两组输送皮带的两端分别转动连接在输送带支撑架的两侧，输送带支撑架的中部与输送带旋转装置的转动端连接，输送带驱动装置与输送皮带驱动连接，基板定位装置设置在输送皮带的内侧，基板推送装置设置在输送带支撑架的一侧。能够实现双基板自动对称高效上料，适应无尘车间自动化操作。

本发明授权一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线在权利要求书中公布了：1.一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，包括至少两组输送皮带（11）、输送带支撑架（12）、输送带旋转装置（13）、输送带驱动装置（14）、基板定位装置（15）和基板推送装置（16），两组输送皮带（11）的两端分别转动连接在输送带支撑架（12）的两侧，所述输送带支撑架（12）的中部与输送带旋转装置（13）的转动端连接，所述输送带驱动装置（14）与输送皮带（11）驱动连接，所述基板定位装置（15）设置在输送皮带（11）的内侧，所述基板推送装置（16）设置在输送带支撑架（12）的一侧； 所述输送带支撑架（12）包括左右架体（121）、皮带轮（122）、轮轴（123）和从动轮（124），所述皮带轮（122）通过轮轴（123）转动连接在左右架体（121）的两端，所述左右架体（121）的中部连接在输送带旋转装置（13）的转动端，所述从动轮（124）与皮带轮（122）通过轮轴（123）同轴连接，两组输送皮带（11）分别套接在左右架体（121）上的皮带轮（122）上； 所述输送带旋转装置（13）包括安装架（131）、旋转驱动器（132）、旋转台（133）、旋转台限位单元（134）和第一位置感应单元（135），所述旋转驱动器（132）的壳体固定连接在安装架（131）上，所述旋转台（133）连接在所述旋转驱动器（132）的转动端，所述左右架体（121）的中部连接在旋转台（133）的台面上，所述旋转台限位单元（134）连接在安装架（131）与旋转台（133）之间，所述第一位置感应单元（135）设置在旋转台限位单元（134）的一侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽众合半导体科技有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市经济技术开发区青龙潭路3435号智能科技园(南区)A栋二层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。