山东大学于法鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种法布里珀罗干涉与压电效应协同增强的声波探测器及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115655443B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211164563.5,技术领域涉及:G01H9/00;该发明授权一种法布里珀罗干涉与压电效应协同增强的声波探测器及系统是由于法鹏;姚清凯;谢琳芳;国星;赵显设计研发完成,并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种法布里珀罗干涉与压电效应协同增强的声波探测器及系统在说明书摘要公布了:本发明属于超灵敏声波检测领域,提供了一种法布里珀罗干涉与压电效应协同增强的声波探测器及系统,该共振传感器包括了双面镀电极的压电薄膜、陶瓷插芯、电荷放大器、激光光源、单模光纤、环形器、光电探测器、数据采集卡和上位机,通过调整压电薄膜的尺寸,使其工作在一阶共振模式下,压电薄膜形变产生的电荷经电荷放大器放大后输入到数据采集卡,另外激光束经过环形器照射到膜片上,产生反射光耦合到环形器,并传送到光电探测器,再由数据采集卡获取信号,获取的两路信号在上位机通过运算实现增强。本发明基于薄膜共振、压电以及法布里珀罗干涉的原理实现对声波的超灵敏检测,该传感器可应用于不同频率微弱声波信号的检测。
本发明授权一种法布里珀罗干涉与压电效应协同增强的声波探测器及系统在权利要求书中公布了:1.一种法布里珀罗干涉与压电效应协同增强的声波探测器,其特征在于,包括:双面镀电极的压电薄膜(1)、电荷放大器(4)、数据采集卡(9)、环形器(7)、激光光源(5)、光电探测器(8)、上位机(10); 所述双面镀电极的压电薄膜(1)与电荷放大器(4)采用抗干扰导线相连,所述电荷放大器(4)与数据采集卡(9)、上位机(10)依次相连; 所述双面镀电极的压电薄膜(1)还与单模光纤(6)构成法布里珀罗谐振腔,所述单模光纤(6)与环形器(7)相连,所述环形器(7)与光电探测器(8)、激光光源(5)分别相连;所述双面镀电极的压电薄膜(1)的工作在一阶共振模式; 所述激光光源(5)产生的一束入射光通过所述环形器(7)进入所述单模光纤(6),出射的光照射到所述双面镀电极的压电薄膜(1)中心,所述单模光纤(6)尾端面与所述双面镀电极的压电薄膜(1)构成法布里珀罗谐振腔,随所述双面镀电极的压电薄膜(1)的振动所述光电探测器(8)获取的反射回环形器(7)的光强同步产生变化; 声波探测器检测的波长范围涵盖宽光谱光源的输出波长范围; 所述数据采集卡将所述电荷放大器的信号与所述光电探测器的信号采集传输到所述上位机; 所述上位机将所述数据采集卡采集的两路信号进行卷积运算,得出声波信号的相位、频率、幅值信息。
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