长鑫存储技术有限公司李金哲获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利探针测试的验证方法及装置、电子设备、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115575786B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211170022.3,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权探针测试的验证方法及装置、电子设备、存储介质是由李金哲设计研发完成,并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针测试的验证方法及装置、电子设备、存储介质在说明书摘要公布了:本公开实施例公开了一种探针测试的验证方法及装置、电子设备、存储介质,所述方法包括:获取利用第一测试设施对晶圆上的多个半导体器件进行探针测试的第一测试结果;根据所述第一测试结果,对所述多个半导体器件进行分组;其中,分组后的各组之间半导体器件的特性差异在预设差异范围内;利用分组后的半导体器件,验证第二测试设施进行探针测试的可靠性。通过上述方法,可以提高验证的效率和准确性。
本发明授权探针测试的验证方法及装置、电子设备、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种探针测试的验证方法,其特征在于,所述方法包括: 获取利用第一测试设施对晶圆上的多个半导体器件进行探针测试的第一测试结果; 根据所述第一测试结果,对所述多个半导体器件进行分组;其中,分组后的各组之间半导体器件的特性差异在预设差异范围内; 利用分组后的半导体器件,验证第二测试设施进行探针测试的可靠性。
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