中国科学院微电子研究所张滋黎获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371558B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211044029.0,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统是由张滋黎;王珊;孟繁昌;王国名;崔成君;纪荣祎;潘映伶;王博;张佳;董登峰;周维虎设计研发完成,并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提出一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统,方法包括:在俯仰轴两端分别设置第一检棒及第二检棒,其中,第一检棒及第二检棒为具有母线及轴的旋转体,母线为直线,轴与俯仰轴的中心轴线重合;旋转方位轴,分别获取第一检棒及第二检棒在平行光照射下得到的阴影图案,其中,平行光的照射方向与方位轴的轴线平行,阴影图案呈现在第一接收平面上;根据阴影图案确定第一检棒与第二检棒的轴线间距;根据第一检棒及第二检棒的轴线间距确定激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差。本发明方法测量流程简单,测量精度高,可以满足激光跟踪仪轴系相交度误差高精度检测的需求。
本发明授权激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法,其特征在于,包括: 在所述俯仰轴两端分别设置第一检棒及第二检棒,其中,所述第一检棒及第二检棒为具有母线及轴的旋转体,所述母线为直线,所述轴与所述俯仰轴的中心轴线重合; 旋转所述方位轴,分别获取所述第一检棒及第二检棒在平行光照射下得到的阴影图案,其中,所述平行光的照射方向与所述方位轴的轴线平行,所述阴影图案呈现在第一接收平面上; 根据所述阴影图案确定所述第一检棒与所述第二检棒的轴线间距,在所述第一接收平面上建立直角坐标系,以所述第一检棒的轴在所述第一接收平面上的投影直线为第一轴线,以所述第二检棒的轴在所述第一接收平面上的投影直线为第二轴线,所述第一检棒及第二检棒在所述第一接收平面上的阴影图案分别为第一阴影图案与第二阴影图案,所述第一阴影图案包括第一侧线及第二侧线,所述第一检棒为圆柱体,所述第一侧线平行于第二侧线,根据所述第一侧线及第二侧线确定所述第一轴线在所述直角坐标系内的第一轴线方程为:y=ax+b1+b22,所述第二阴影图案包括第三侧线及第四侧线,所述第二检棒为圆柱体,所述第三侧线平行于第四侧线,根据所述第三侧线及所述第四侧线确定所述第二轴线方程为:y=ax+b3+b42,所述第一检棒与所述第二检棒的轴线间距为: 其中,a为所述第一侧线、第二侧线、第三侧线或第四侧线的斜率,b1、b2、b3和b4分别为第一侧线至第四侧线在所述直角坐标系纵轴上的截距,x,y为所述直角坐标系中的坐标; 根据所述第一检棒及第二检棒的轴线间距确定所述激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差。
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