广西大学万玲玉获国家专利权
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龙图腾网获悉广西大学申请的专利一种激光诱导氧化镓薄膜掺杂金属的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376927B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210986392.8，技术领域涉及：H01L21/385；该发明授权一种激光诱导氧化镓薄膜掺杂金属的方法是由万玲玉;闫大卫;何里奇;刘新世;李晗;陈吉兴设计研发完成，并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光诱导氧化镓薄膜掺杂金属的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种激光诱导氧化镓薄膜掺杂金属的方法，包括如下步骤：1在氧化镓薄膜上蒸镀Sn金属层或者溅射Nb金属层；2采用不同波长的激光显微聚焦辐照氧化镓薄膜；3根据氧化镓薄膜表面蒸镀或溅射的金属采用盐酸或者氢氟酸浸泡洗去氧化镓薄膜上的金属层；4采用去离子水洗去盐酸或者氢氟酸；5把洗去盐酸或者氢氟酸的氧化镓薄膜放入盛有去离子水的烧杯中并放入超声波清洗仪中清洗；6把经过超声波清洗后的氧化镓薄膜取出后采用氮气吹干。本发明的优点在于激光诱导氧化镓薄膜掺杂方法是在氧化镓薄膜生长之后，再对氧化镓薄膜进行掺杂的，可以通过改变激光辐照参数和辐照时间来调控掺杂浓度。
本发明授权一种激光诱导氧化镓薄膜掺杂金属的方法在权利要求书中公布了：1.一种激光诱导氧化镓薄膜掺杂金属的方法，其特征在于，包括如下步骤： （1）在生长好的氧化镓薄膜上蒸镀Sn金属层或者溅射Nb金属层； （2）采用波长为213~325nm的激光显微聚焦辐照氧化镓薄膜1~30min； （3）根据氧化镓薄膜表面蒸镀或溅射的金属采用盐酸或者氢氟酸浸泡洗去氧化镓薄膜上的金属层； （4）把洗去金属层的氧化镓薄膜采用去离子水洗去盐酸或者氢氟酸； （5）把洗去盐酸或者氢氟酸的氧化镓薄膜放入盛有去离子水的烧杯中并放入超声波清洗仪中清洗； （6）把经过超声波清洗后的氧化镓薄膜取出后采用氮气吹干。
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