绍兴中芯集成电路制造股份有限公司张俊获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请的专利晶圆测试映射图错位的确定方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115223882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210848252.4,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权晶圆测试映射图错位的确定方法、装置、设备及存储介质是由张俊;沈丹江;任先鹏;俞琪云设计研发完成,并于2022-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测试映射图错位的确定方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种晶圆测试映射图错位的确定方法、装置、设备及存储介质。所述方法包括:获取标记管芯在晶圆测试映射图中的第一位置;获取所述第一位置在所述晶圆测试映射图中沿多个方向分别做多次预设距离的整体移动后对应所述晶圆测试映射图中的多个第二位置,分别确定位于多个所述第二位置的管芯的第一合格率;根据所述第一合格率,确定所述晶圆测试映射图与晶圆之间的错位情况;其中,所述晶圆测试映射图为提供测试头移动依据的映射所述晶圆上所有管芯位置的布局图。本申请实施例的晶圆测试映射图错位的确定方法,能够确定所述晶圆测试映射图与晶圆之间的错位情况,且不容易漏检,人工成本低。
本发明授权晶圆测试映射图错位的确定方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆测试映射图错位的确定方法,其特征在于,所述方法包括: 获取标记管芯在晶圆测试映射图中的第一位置;所述标记管芯为测试前识别出的合格率低的无需测试的非正常的管芯;所述第一位置为一个管芯的位置或多个管芯的布局位置; 获取所述第一位置在所述晶圆测试映射图中沿多个方向分别做多次预设距离的整体移动后对应所述晶圆测试映射图中的多个第二位置,分别确定位于多个所述第二位置的管芯的第一合格率; 根据所述第一合格率,确定所述晶圆测试映射图与所述晶圆之间的错位情况;其中,所述晶圆测试映射图为提供测试头移动依据的映射所述晶圆上所有管芯位置的布局图。
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