Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
服务订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
首页 专利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 季华实验室高桑田获国家专利权

季华实验室高桑田获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种反应腔的温度补偿装置、系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114959889B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210748988.4,技术领域涉及:C30B25/16;该发明授权一种反应腔的温度补偿装置、系统及方法是由高桑田;仇礼钦;王鑫;戴科峰;毛朝斌;谢利华设计研发完成,并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种反应腔的温度补偿装置、系统及方法在说明书摘要公布了:本申请涉及外延设备技术领域,具体提供了一种反应腔的温度补偿装置、系统及方法,所述外延设备包括所述反应腔和感应线圈,所述感应线圈螺旋设置在所述反应腔外,所述反应腔的外形为圆柱形,所述反应腔的温度补偿装置包括:温度补偿线圈,设置在所述反应腔外;水平驱动组件,与所述温度补偿线圈连接,用于驱动所述温度补偿线圈沿平行于所述反应腔的轴心线的方向位移;旋转组件,与所述水平驱动组件连接,用于驱动所述水平驱动组件旋转;该装置能够对温场分布不均匀对应的局部位置进行补偿加热,以使反应腔内的温场分布均匀。

本发明授权一种反应腔的温度补偿装置、系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种反应腔的温度补偿装置,用于补偿外延设备的反应腔1内的温度,所述外延设备包括所述反应腔1和感应线圈2,所述感应线圈2螺旋设置在所述反应腔1外,所述反应腔1的外形为圆柱形,其特征在于,所述反应腔的温度补偿装置包括: 温度补偿线圈5,设置在所述反应腔1外,当温度补偿线圈5进行补偿加热时,感应线圈2停止加热; 水平驱动组件3,与所述温度补偿线圈5连接,用于驱动所述温度补偿线圈5沿平行于所述反应腔1的轴心线的方向位移; 旋转组件4,与所述水平驱动组件3连接,用于驱动所述水平驱动组件3旋转。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室,其通讯地址为:528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。