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龙图腾网获悉欧梯恩智能科技(苏州)有限公司申请的专利双腔级联加速度-温度传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114812853B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210564886.7，技术领域涉及：G01K11/32；该发明授权双腔级联加速度-温度传感器及其制备方法是由刘晓海;郭怡然设计研发完成，并于2022-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本双腔级联加速度-温度传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种双腔级联加速度‑温度传感器，包括上下设置的加速度传感器结构和温度传感器结构，加速度传感器结构由悬臂梁‑质量块结合构成的惯性运动结构。当传感器受到平行于空气腔方向的加速度时，质量块由于惯性的影响产生位移，进而导致空气腔腔长发生变化，从而引起干涉光谱的波长偏移。温度传感器结构由单晶硅构成硅腔及上下两侧的光学膜组成。当温度发生变化时硅的体积随之发生变化，导致硅腔腔长变化，从而引起干涉光谱的波长偏移。空气腔和硅腔的相差1个数量级以上，光束从传感器质量块上方垂直入射，经过空气腔与硅腔后出射，出射光携带空气腔与硅腔的腔长变化而导致的波长偏移信息，通过解调出射光就可同时测量加速度和温度。

本发明授权双腔级联加速度-温度传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种双腔级联加速度-温度传感器，其特征在于，包括上下设置的加速度传感器结构和温度传感器结构； 所述加速度传感器结构包括： 侧壁11，中间形成空腔14； 质量块13，位于侧壁11的中间，所述质量块13顶部和底部两面分别镀有第一光学膜15； 悬臂梁12，连接所述质量块13与侧壁11，为质量块13提供支撑； 所述温度传感器结构包括： 硅基材料22，设置在侧壁11下方，硅基材料22的顶部和底部分别镀有第二光学膜23、24； 第一光学膜15和第二光学膜23、24的透射率与折射率相等，且质量块13下方的第一光学膜15到硅基材料22顶部的第二光学膜之间的距离为h1，质量块13的折射率为n1，硅基材料22顶部和底部第二光学膜之间的距离为h2，硅基材料22的折射率为n2，lg[h1*n1h2*n2]小于1，lg为常用对数； 所述硅基材料22为凹字形结构，上端中空部分与空腔14形成空气腔，硅基材料22的顶部为位于中空部分的顶部，光束从传感器质量块13上方垂直入射。

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