胡倩获国家专利权
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龙图腾网获悉胡倩申请的专利一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114864447B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210514681.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法是由胡倩;杜荣欣;董红;井美艺设计研发完成，并于2022-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法，该设备包括：干燥桶；晶圆承载机构，用以承载晶圆；第一保护罩，其上开设有多个孔隙，晶圆承载机构在第一保护罩内；其中，干燥桶上设有进气口。本发明的干燥设备在干燥过程中，由于超临界流体不直接冲击在晶圆上，而是先经过第一保护罩，利用第一保护罩的孔隙，使得超临界流体均匀透过多孔的第一保护罩后再对晶圆进行干燥，这样可避免快速进入的超临界流体直接冲击晶圆而对晶圆造成损坏。
本发明授权一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆超临界干燥设备，其特征在于，包括： 干燥桶； 晶圆承载机构，其位于所述干燥桶内，所述晶圆承载机构用以承载晶圆；所述晶圆承载机构包括：底座；多个支撑杆，多个所述支撑杆沿周向可拆卸固定于所述底座上，所述支撑杆上由上至下设有多个与晶圆相适配的凹槽； 第一保护罩，其上开设有多个孔隙，所述晶圆承载机构在所述第一保护罩内； 位于所述干燥桶内的安装槽，所述底座两侧设有凸起，所述安装槽内壁对应所述凸起处设有卡槽，所述凸起卡设于所述卡槽内以使所述底座固定于所述安装槽内； 所述安装槽上端面沿周向设置有多个挡条，一开设有多个孔隙的第二保护罩包裹在多个所述挡条外周； 其中，所述干燥桶上设有进气口，从所述进气口通入的超临界流体经所述第二保护罩上的孔隙、第一保护罩上的孔隙进入第一保护罩内。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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