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龙图腾网获悉苏州苏磁智能科技有限公司申请的专利磁悬浮装置以及半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114826025B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210442450.0，技术领域涉及：H02N15/00；该发明授权磁悬浮装置以及半导体加工设备是由尹成科设计研发完成，并于2022-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁悬浮装置以及半导体加工设备在说明书摘要公布了：一种磁悬浮装置和半导体加工设备，该磁悬浮装置包括转子和定子。定子包括至少三个磁性定子基片以及永磁体和导磁体，该至少三个磁性定子基片在定子的轴向上彼此间隔开以在定子的轴向上限定至少两个间隙，在定子的轴向上永磁体和导磁体交替设置于至少两个间隙中；至少三个磁性定子基片的每个包括基片主体以及与基片主体连接的突出部，突出部朝向转子而突出于永磁体和导磁体，突出部上缠绕有磁悬浮线圈；并且至少三个磁性定子基片包括第一磁性定子基片，该第一磁性定子基片的突出部和磁悬浮线圈对转子施加沿定子的轴向向上的力，第一磁性定子基片的数量与至少三个磁性定子基片的总数量之比大于等于50％。本公开的磁悬浮装置能够提供大的、可调节的轴向支撑力。

本发明授权磁悬浮装置以及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种磁悬浮装置，包括： 转子；以及 定子，所述定子围绕所述转子设置或者所述转子围绕所述定子设置，其中， 所述定子包括至少三个磁性定子基片以及永磁体和导磁体，该至少三个磁性定子基片在所述定子的轴向上彼此间隔开以在所述定子的轴向上限定至少两个间隙，在所述定子的轴向上所述永磁体和所述导磁体交替设置于所述至少两个间隙中； 所述至少三个磁性定子基片的每个包括基片主体以及与基片主体连接的突出部，所述突出部朝向所述转子而突出于所述永磁体和所述导磁体，所述突出部上缠绕有磁悬浮线圈；并且 所述至少三个磁性定子基片包括第一磁性定子基片，所述第一磁性定子基片的突出部和磁悬浮线圈对所述转子施加沿所述定子的轴向向上的力，所述第一磁性定子基片的数量与所述至少三个磁性定子基片的总数量之比大于等于50％； 所述至少三个磁性定子基片还包括第二磁性定子基片，所述第二磁性定子基片的突出部和磁悬浮线圈对所述转子施加沿所述定子的轴向向下的力，并且所述第一磁性定子基片的数量大于等于所述第二磁性定子基片的数量。

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