细美事有限公司崔炫晳获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295440B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210433631.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及方法是由崔炫晳;郭基荣;孙东熙;朴锺焕;郑钟真设计研发完成，并于2022-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了执行能够提高金属离子针对基板的吸附率的配方的基板处理装置及方法。所述基板处理方法包括：向基板上排出基板处理液的步骤；使基板以第一速度旋转的步骤；以及当基板处理液的排出结束时，对基板进行干燥的步骤。
本发明授权基板处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，包括： 向基板上排出基板处理液的步骤； 在排出所述基板处理液期间，使所述基板以第一速度旋转的步骤； 当所述基板处理液的排出结束时，对所述基板进行干燥的步骤；以及 在对所述基板进行干燥期间，使所述基板以第二速度旋转的步骤， 其中，所述第二速度低于所述第一速度，所述第一速度是防止所述基板处理液从所述基板上弹出去的速度； 其中，在检查所述基板处理液时和或检查排出所述基板处理液的喷嘴时执行所述基板处理方法。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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