苏州晶睿半导体科技有限公司杨刚获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶睿半导体科技有限公司申请的专利半导体器件测试探针台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114636844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210306620.2,技术领域涉及:G01R1/04;该发明授权半导体器件测试探针台是由杨刚;魏亮;赵勇设计研发完成,并于2022-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件测试探针台在说明书摘要公布了:本发明属于半导体器件技术领域,公开了半导体器件测试探针台,包括检测台,所述检测台的顶部设置有检测槽,所述检测台的顶部设置用操作台,所述操作台上安装有工作箱,所述工作箱的底部安装有调节装置,所述调节装置的底部固定安装有测试摄像头,所述工作箱的底部固定连接有两个电动推杆,两个所述电动推杆分别位于测试摄像头的左右两侧,两个所述电动推杆相对的一端均安装有安装架,所述安装架上安装有探针杆,所述探针杆的底端设置有探针头。本发明,能够对探针头以及晶圆双向保护,避免探针头的弯折以及晶圆的破损,保证测试探针台的正常使用,提高其使用寿命,提高半导体器件的测试结果精确性。
本发明授权半导体器件测试探针台在权利要求书中公布了:1.半导体器件测试探针台,包括检测台1,其特征在于:所述检测台1的顶部设置有检测槽2,所述检测台1的顶部设置用操作台3,所述操作台3上安装有工作箱4,所述工作箱4的底部安装有调节装置12,所述调节装置12的底部固定安装有测试摄像头5,所述工作箱4的底部固定连接有两个电动推杆6,两个所述电动推杆6分别位于测试摄像头5的左右两侧,两个所述电动推杆6相对的一端均安装有安装架7,所述安装架7上安装有探针杆8,所述探针杆8的底端设置有探针头9,所述探针杆8与探针头9相对的一侧均固定连接有环形槽10,所述探针杆8与探针头9之间设置有橡胶连接块11,所述橡胶连接块11的两侧分别延伸至相邻的环形槽10的内侧并与环形槽10的内壁卡接; 所述环形槽10的截面形状为凸形,所述橡胶连接块11的两侧均一体成型有卡环111,所述卡环111与环形槽10的形状相匹配; 所述调节装置12包含有伺服电机121,所述伺服电机121固定安装于工作箱4的底部,所述伺服电机121的输出轴固定连接有转动盘122,所述转动盘122的顶部与工作箱4转动连接,所述转动盘122的底部固定连接有两个第一电动导轨123,两个所述第一电动导轨123之间安装有第二电动导轨124,所述第二电动导轨124的底部安装有安装板125,所述电动推杆6与测试摄像头5均安装于安装板125的底部; 所述安装架7包含有固定板71,所述固定板71的一侧通过螺栓与电动推杆6固定连接,所述固定板71上铰接有活动板72,所述活动板72上通过螺丝固定连接有夹板73,所述探针杆8安装于活动板72与夹板73之间,所述活动板72与固定板71的铰接处固定安装有复位弹簧74; 所述固定板71远离电动推杆6的一端向下弯折形成限制部711,所述限制部711的弯折部分位于活动板72与固定板71的铰接处。
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