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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115014195B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210282720.6，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构是由叶莹;张冬峰;祝佳辉;王旭晨设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构，包括至少两个检测部件、切换装置和驱动装置。每个检测部件包括一对对射传感器，对射传感器用于检测晶圆，且每个检测部件对应检测不同尺寸的晶圆。驱动装置与切换装置连接，驱动装置在动作的不同的行程范围内，通过切换装置仅驱动一个检测部件伸出进行晶圆检测。一方面可以兼容大小不同规格的晶圆装置的映射检测，另一方面有效避免人工拆换，提高了效率。也避免了晶圆装载机的重复拆装，提高晶圆装载机的使用效率和寿命。

本发明授权一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构在权利要求书中公布了：1.一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构，其特征在于：包括至少两对检测部件、切换装置和驱动装置，每对所述检测部件用于检测不同尺寸的晶圆，所述驱动装置与切换装置连接； 其中所述切换装置包括凸轮组件，所述凸轮组件包括与检测部件对应设置的转轴，每对所述转轴上固定有与其对应设置的检测支架，一对检测部件固定在一对检测支架上，每个所述转轴上均套装有圆柱槽凸轮，所述驱动装置在动作的不同的行程范围内，同一时刻，仅驱动一对所述转轴沿自身轴线转动，进而带动对应的一对检测部件伸展开进行晶圆检测； 所述圆柱槽凸轮为空心柱体，分别套设在所述转轴上，所述圆柱槽凸轮的外壁还开设有凹槽，所述凹槽包括长直线槽、曲线槽和短直线槽，曲线槽位于长直线槽和短直线槽之间，且与长直线槽和短直线槽连通，所述曲线槽占布90度弧面； 所述切换装置还包括与圆柱槽凸轮对应设置的活动销，所述活动销能插入所述凹槽内并能沿着凹槽滑动，所述活动销均与驱动装置固定连接并在驱动装置作用下同步升降，所述活动销在沿曲线槽上下移动过程中能驱动圆柱槽凸轮使其绕自身轴线转动，所述圆柱槽凸轮在活动销沿长直线槽或短直线槽上下移动过程中保持静止。

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