杭州广立微电子股份有限公司毛俊获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州广立微电子股份有限公司申请的专利一种WAT自动重测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114527366B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111671628.0，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种WAT自动重测方法是由毛俊;李成霞设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种WAT自动重测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种WAT自动重测方法，属于集成电路测试技术领域。具体包括下述步骤：步骤1.测试设备选定重测设置与配置信息，配置信息包括测试相关的数据配置文件；选定并载入待测晶圆；步骤2.测试设备执行主测试流程，得到初始测试结果；步骤3.测试设备根据重测设置自动执行重测分析系统，对初始测试结果进行分析，获得重测项清单；步骤4.若重测项清单为空，则不执行重测测试流程，继续执行主测试流程；否则测试设备执行重测测试流程；对重测项清单的内容进行重测，重测后继续执行主测试流程。本发明可以实现晶圆电性测试过程中测试结果不稳定的测试项的自动重测，大大提高测试效率与测试精度。
本发明授权一种WAT自动重测方法在权利要求书中公布了：1.一种WAT自动重测方法，其特征在于，具体包括下述步骤： 步骤1.测试设备选定重测设置与配置信息，所述配置信息包括测试相关的数据配置文件；选定并载入待测晶圆； 步骤2.测试设备执行主测试流程，得到初始测试结果； 步骤3.测试设备根据所述重测设置自动执行重测分析系统，对所述初始测试结果进行分析，获得重测项清单； 步骤4.若所述重测项清单为空，则不执行重测测试流程，继续执行主测试流程；否则测试设备执行重测测试流程，对所述重测项清单的内容进行重测，重测后继续执行主测试流程； 所述步骤1中，所述配置信息还包括依赖配置文件，所述依赖配置文件按照测试项之间存在的相互依赖关系将测试项进行重新归类，存在相互依赖关系的测试项互为依赖项； 所述重测分析系统独立于测试设备的控制软件，所述重测分析系统包括重测配置文件，根据所述重测配置文件和依赖配置文件对测试失败的测试项以及与所述测试失败的测试项存在依赖关系的依赖项进行筛选，确定重测项，得到最终的重测项清单。
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