中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心薛峻获国家专利权
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龙图腾网获悉中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心申请的专利一种提高LTCC层间对位精度的方法及LTCC片式器件的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114121896B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111361774.3,技术领域涉及:H01L23/544;该发明授权一种提高LTCC层间对位精度的方法及LTCC片式器件的制备方法是由薛峻;贺彪;宋哲宇;丁伟民设计研发完成,并于2021-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高LTCC层间对位精度的方法及LTCC片式器件的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种提高LTCC层间对位精度的方法及LTCC片式器件的制备方法,该对位方法将相邻两层有较高对位精度要求的图形印在同一片生瓷的正、背两面,正、背面印刷时使用相同的印刷对准符,消除定位销钉、打孔精度对层间对位精度的影响,提高了LTCC基板相邻层的层间对位精度。
本发明授权一种提高LTCC层间对位精度的方法及LTCC片式器件的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种提高LTCC层间对位精度的方法,其特征在于,包括以下步骤: (1)在生瓷片四角无图形区用4组通孔制作Mark点作为印刷对准符; (2)对B层生瓷片通孔镜像; (3)在B层生瓷片的正面印刷A层的镜像图形;其中,A层、B层为相邻两层生瓷片,且B层位于A层下方; (4)将B层生瓷片聚酯膜面向下,套叠在叠片台上,将A层生瓷片聚酯膜面向上套叠在叠片台上; (5)盖上叠片台金属压板,将A、B层生瓷片和金属压板包裹进行真空包封; (6)放入层压机进行等静压预压,预压后A、B层生瓷片成为一个生瓷坯; (7)将生瓷坯置于真空台,揭去覆于B层生瓷片的聚脂膜; (8)使用与A层镜像图形印刷时的同一组印刷对准符,在B层生瓷片背面印刷B层图形。
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