应用材料公司阿萨夫·施勒岑杰获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利检验系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115298809B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180022545.0,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权检验系统是由阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔设计研发完成,并于2021-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本检验系统在说明书摘要公布了:本文的实施方式总体涉及用于太阳能电池应用的基板或晶片的检验系统。所述检验系统被配置为分析基板或晶片的缺口、开裂和其他缺陷。所述系统包括输送机设备,并且所述输送机设备包括一个或多个输送机元件。所述输送机元件被配置为运输宽度在约175mm至约250mm之间的矩形晶片。所述输送机元件包括第一输送机带和第二输送机带,以运输所述基板。所述带的间距减少基板边缘的振动。
本发明授权检验系统在权利要求书中公布了:1.一种用于检验宽度在175mm与250mm之间的矩形基板的系统,包括: 一个或多个计量站,所述一个或多个计量站被配置为检验所述矩形基板;和 输送机系统,所述输送机系统被配置为在所述一个或多个计量站检验所述矩形基板时运输所述矩形基板,所述输送机系统包括: 输送机检验系统,所述输送机检验系统包括: 可移动输送机,所述可移动输送机被配置为从第一取向旋转到第二取向,其中所述可移动输送机在所述第一取向上接收所述矩形基板;和 快速输送机,当在所述第一取向上时所述快速输送机设置成与所述可移动输送机成角度并且在所述可移动输送机下方,所述快速输送机被配置为在所述可移动输送机正在旋转到所述第二取向时将所述矩形基板从所述可移动输送机升举起来; 第一输送机设备;和 第二输送机设备,所述输送机检验系统、所述第一输送机设备和所述第二输送机设备中的每一者包括一个或多个输送机元件,所述一个或多个输送机元件包括: 第一输送机带和与所述第一输送机带平行的第二输送机带,其中所述第一输送机带和所述第二输送机带被配置为在所述矩形基板的所述宽度与行进方向正交时在所述行进方向上运输所述宽度在175mm至250mm之间的所述矩形基板,并且所述第一输送机带和所述第二输送机带由在90mm与150mm之间的带分离跨距间隔开。
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