乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司让-马克·吉拉尔获国家专利权
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龙图腾网获悉乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司申请的专利含金属膜的区域选择性沉积获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176332B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080097071.1，技术领域涉及：H01L21/205；该发明授权含金属膜的区域选择性沉积是由让-马克·吉拉尔;卢沅泰;李柱昊设计研发完成，并于2020-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本含金属膜的区域选择性沉积在说明书摘要公布了：选择性地沉积含金属膜的方法，这些方法包括：提供具有同时在其上暴露的多种材料的表面；以及将该表面暴露于含金属成膜组合物的蒸气，该组合物含有具有下式的前体：LxM‑NR‑CR’2n‑NR”2其中M是第12族、第13族、第14族、第15族、第IV族或第V族元素；x+1是M的氧化态；L是阴离子配体，独立地选自二烷基胺、烷氧基、烷基亚胺、双三烷基甲硅烷基胺、脒化物、β‑二酮酸酯、酮‑亚胺、卤化物等；R、R”各自独立地是C1‑C10直链、支链或环状的烷基、烯基或三烷基甲硅烷基；R’是H或C1‑C10直链、支链或环状的烷基、烯基或三烷基甲硅烷基；n＝1‑4，其中这些材料中的至少一种至少部分地被阻挡剂阻挡，免于通过气相沉积工艺沉积该含金属膜。
本发明授权含金属膜的区域选择性沉积在权利要求书中公布了：1.一种选择性地沉积含金属膜的方法，该方法包括以下步骤： a提供具有同时在其上暴露的多种材料的表面；以及 b将该表面暴露于含金属成膜组合物的蒸气，该组合物含有具有下式的前体： LxM-NR-CR’2n-NR”2 其中M是第12族、第13族、第14族、第15族、第IV族或第V族元素；x+1是M的氧化态；L是阴离子配体；R、R”各自独立地是C1-C10直链、支链或环状的烷基、烯基或三烷基甲硅烷基；R’是H或C1-C10直链、支链或环状的烷基、烯基或三烷基甲硅烷基；n＝1-4；以及 c在气相沉积工艺中，优先地或选择性地在该表面上的该多种材料中的一种或多种，但少于全部上沉积膜， 其中该表面上的这些材料中的至少一种至少部分地被阻挡剂阻挡，从而减少或防止在受阻挡的材料上沉积该含金属膜。
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