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龙图腾网获悉乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司申请的专利固体和液体材料的蒸气输送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115104177B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080096026.4，技术领域涉及：H01L21/31；该发明授权固体和液体材料的蒸气输送系统是由刘玉民设计研发完成，并于2020-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本固体和液体材料的蒸气输送系统在说明书摘要公布了：披露了蒸气输送系统，其包括：壳体本体，该壳体本体在其中限定了内部容积；多个阻流器，该多个阻流器用于接收载气，以在该内部容积中产生气体分配管线；至少两个表面，该固体或液体前体施加到该至少两个表面，以允许该载气沿这些气体分配管线在该至少两个表面上经过以与固体或液体前体蒸气混合；气体收集装置，该气体收集装置在这些气体分配管线的下游、用于将该载气和该固体或液体前体蒸气的混合物输送出系统；以及流量控制器，该流量控制器被流体地连接至载气源，以控制进给至该内部容积中的载气的进给流率。沿每个气体分配管线的气体分配流率由进给至该内部容积中的载气的进给流率控制。

本发明授权固体和液体材料的蒸气输送系统在权利要求书中公布了：1.一种用于使固体或液体前体汽化的蒸气输送系统，该蒸气输送系统包括： 壳体本体，该壳体本体在其中限定了内部容积； 该内部容积中的至少两个内壁，该至少两个内壁被配置为将该内部容积分成至少三个区段，该至少三个区段包括第一区段、第二区段和第三区段，其中该第二区段邻近于该第一区段和该第三区段并且位于该第一区段与该第三区段之间； 其中每个内壁被固定在该内部容积的底部和该内部容积的侧壁上、并且垂直于该内部容积的底部的表面和侧壁； 其中该至少两个内壁的高度短于该内部容积的侧壁的高度，使得该至少三个区段通向共用区域，该共用区域在该内部容积的顶部部分中形成气体分配管线穿过的单个连续顶部隔间； 壳体盖，该壳体盖包括气体入口和气体出口； 多个阻流器，该多个阻流器被流体地连接至该气体入口、并且被配置为并且适于接收来自该气体入口的载气并且在该内部容积中产生气体分配管线； 至少两个隔间或通道，该至少两个隔间或通道被包含在该内部容积的下部部分中并且在其中具有该固体或液体前体，该至少两个隔间或通道被配置为并且适于允许该载气沿这些气体分配管线在该至少两个隔间或通道上经过，以与来自其中的该固体或液体前体的蒸气混合； 气体收集器，该气体收集器在该至少两个隔间或通道的下游、被流体地连接至该壳体盖中的气体出口， 该气体收集器被配置为并且适于将该载气和来自该固体或液体前体的蒸气的混合物输送出该系统；以及 流量控制器，该流量控制器被流体地连接至载气源，该流量控制器被配置为并且适于控制该载气通过该气体入口进入该内部容积的进给流率，其中，该载气沿每个气体分配管线的气体分配流率由进给到该气体入口中的该载气的进给流率控制。

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