MKS仪器公司G·A·布鲁克尔获国家专利权
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龙图腾网获悉MKS仪器公司申请的专利具有离子源的气体分析器系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114730695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080081522.2,技术领域涉及:H01J49/28;该发明授权具有离子源的气体分析器系统是由G·A·布鲁克尔;T·C·斯文尼;C·L·珀西设计研发完成,并于2020-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有离子源的气体分析器系统在说明书摘要公布了:气体分析器系统使用可为热阴极离子源的离子源。定位磁铁组件以界定磁场,所述磁铁组件允许基于其离子的质荷比来分开离子分量。使用离子束偏转器、例如一对偏转板,可横越侦测器扫描离子分量。离子束偏转器横越磁场及横越由离子源发射的离子的行进方向界定偏转电场。
本发明授权具有离子源的气体分析器系统在权利要求书中公布了:1.一种气体分析器系统,该系统包含: 离子源,建构为在该离子源的离子区域中建立源电场,该离子区域承接来自监控室的气体,使得在该离子源中形成该气体的离子; 源孔径,定位成将该气体离子的一部分发射出该离子源,该离子藉由该源电场在朝该源孔径的方向中加速; 磁铁组件,定位成界定磁场以基于该气体离子的质荷比角位移该离子的发射部分; 侦测器,定位成侦测该离子的发射部分的位移离子分量; 离子束偏转器,定位在该源孔径与该侦测器之间,该离子束偏转器界定横越该磁场并横越该离子的发射部分的行进方向的偏转电场; 离子电流测量电路装置,电连接成测量由在该侦测器承接该位移离子分量所产生的电流; 该离子束偏转器被配置为将具有不同能量及共同离子分量质量的位移离子分量引导至经过该侦测器的侦测器孔径聚焦,该源孔径被定位成由该离子源发射出该气体的离子的一部分,以与接近该离子束偏转器的几何中心相比更接近该离子束偏转器的一侧地进入该离子束偏转器。
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