周星工程股份有限公司白寅雨获国家专利权
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龙图腾网获悉周星工程股份有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730721B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078329.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备是由白寅雨;金鍾哲;边永燮;吕仁喆设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明关于一种基板处理设备，包含：腔室，提供处理空间；盖件，覆盖腔室的上部；基板支撑单元，支撑着至少一个基板且可绕旋转轴旋转，以使基板穿过成像区域；气体喷射单元，用于将处理气体喷向基板支撑单元；区域摄影单元，拍摄成像区域的图像以获得成像区域的热图像；以及计算单元，自热图像计算基板的温度数据。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括： 腔室，提供处理空间； 盖件，覆盖所述腔室的上部； 基板支撑单元，支撑着至少一个基板且可绕旋转轴旋转，以使基板穿过摄影区域； 气体喷射单元，将处理气体喷向所述基板支撑单元； 区域摄影单元，拍摄所述摄影区域以获得所述摄影区域的热图像；以及 计算单元，自所述热图像计算基板的温度数据， 其中所述计算单元包括： 撷取模块，自所述热图像撷取对应于第一测量线的基板的点温度的第一候选数据，且自所述热图像撷取对应于与所述第一测量线平行的第二测量线的基板的点温度的第二候选数据；以及 计算模块，通过使用所述第一候选数据及所述第二候选数据计算所述热图像所含的基板的点温度的温度数据。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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