HOYA株式会社山口昇获国家专利权
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龙图腾网获悉HOYA株式会社申请的专利光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112506002B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010944925.7，技术领域涉及：G03F1/38；该发明授权光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法是由山口昇设计研发完成，并于2020-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的课题在于提供光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法，该光掩模能够在被转印体上形成具有优异的竖立的轮廓的抗蚀剂图案。一种光掩模，其在透明基板上具备包含透光部、遮光部和半透光部的转印用图案，其中，透光部是透明基板露出而成的，半透光部是在透明基板上形成透射控制膜而成的，遮光部具有边缘部和层积部，该边缘部沿着与透光部相邻的边缘以规定宽度D1μm其中0.5≤D1配置，其是在透明基板上形成相位控制膜而成的，该层积部配置于边缘部以外的区域，其是在透明基板上层积相位控制膜和透射控制膜而成的。
本发明授权光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模，其是在透明基板上具备包含透光部、遮光部和半透光部的转印用图案的光掩模，其中， 所述转印用图案通过将形成于所述透明基板上的相位控制膜和透射控制膜分别图案化而形成， 所述相位控制膜对于所述光掩模的曝光光中包含的代表波长的光具有透射率Tp和相移量φ4，其中Tp≥2，透射率Tp的单位为％，160≤φ4≤200，相移量φ4的单位为度， 所述透射控制膜对于所述代表波长的光具有透射率Th和相移量φh，其中Th≥20、φh90，透射率Th的单位为％、相移量φh的单位为度， 所述透光部是所述透明基板露出而成的， 所述半透光部是在所述透明基板上形成所述透射控制膜而成的， 所述遮光部具有边缘部和层积部， 所述边缘部沿着与所述透光部相邻的边缘以规定宽度D1配置，其是在所述透明基板上形成所述相位控制膜而成的，其中0.5≤D1，规定宽度D1的单位为μm， 所述层积部配置于所述边缘部以外的区域，其是在所述透明基板上层积所述相位控制膜和所述透射控制膜而成的， 所述层积部是在所述透明基板上的所述相位控制膜上直接或间接层积所述透射控制膜而成的。
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