科磊股份有限公司L·撒尔通获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于改善半导体装置的不对齐及不对称性的小波系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115917720B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080101637.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权用于改善半导体装置的不对齐及不对称性的小波系统及方法是由L·撒尔通;D·内格里设计研发完成，并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于改善半导体装置的不对齐及不对称性的小波系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于制造半导体装置晶片的小波分析系统及方法，所述系统包含：不对齐计量工具，其可操作以测量晶片上的至少一个测量位点，从而产生输出信号；以及基于小波的分析引擎，其可操作以通过将至少一个小波变换应用于所述输出信号来产生至少一个经小波变换信号，且通过分析所述经小波变换信号来产生质量度量。
本发明授权用于改善半导体装置的不对齐及不对称性的小波系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于制造半导体装置晶片的小波分析系统，所述系统包括： 不对齐计量工具，其经操作以测量晶片上的至少一个测量位点，从而产生输出信号；及 基于小波的分析引擎，其经操作以： 通过将至少一个小波变换应用于所述输出信号来产生至少一个经小波变换信号；及 通过分析所述经小波变换信号来产生质量度量，其中所述分析包括将所述经小波变换信号的特定部分与所述测量位点内的特定位置相关联，且其中所述分析进一步将所述测量位点内形成的一或多个结构的贡献与所述质量度量相关联。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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