郝强;曾和平获国家专利权
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龙图腾网获悉郝强;曾和平申请的专利采用全光学方式的激光划片在线监测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111604607B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010567920.7,技术领域涉及:B23K26/70;该发明授权采用全光学方式的激光划片在线监测装置是由郝强;曾和平设计研发完成,并于2020-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本采用全光学方式的激光划片在线监测装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种采用全光学方式的激光划片在线监测装置,用于对激光划片的全动态过程进行原位实时观测,包括:倍频晶体及半反射镜,所述倍频晶体将探测光倍频后经半反射镜反射至待测晶圆处;二向色镜,其位于半反射镜与待测晶圆之间的光路上,用于反射抽运光划片光至与探测光合束;二向色物镜,其位于二向色镜与待测晶圆之间的光路上,用于将所述抽运光划片光与所述探测光聚焦,焦点置于待测晶圆内部;第一探测器,其位于待测晶圆一侧中半反射镜的透射光路上且较之半反射镜远离待测晶圆,用于记录探测光的反射信息;第二探测器,位于待测晶圆的另一侧且设置在从二向色物镜往待测晶圆的光路延长线上,用于记录探测光的透射信息。
本发明授权采用全光学方式的激光划片在线监测装置在权利要求书中公布了:1.采用全光学方式的激光划片在线监测装置,其特征在于,包括: 倍频晶体及半反射镜,所述倍频晶体将探测光倍频后经半反射镜反射至待测晶圆处; 二向色镜,其位于半反射镜与待测晶圆之间的光路上,用于反射抽运光划片光至与探测光合束; 二向色物镜,其位于二向色镜与待测晶圆之间的光路上,用于将所述抽运光划片光与所述探测光聚焦,焦点置于待测晶圆内部; 第一探测器,其位于待测晶圆一侧中半反射镜的透射光路上且较之半反射镜远离待测晶圆,用于记录探测光的反射信息;光的反射信息包括光的反射强度、位置、发散角中的至少一种; 第二探测器,位于待测晶圆的另一侧且设置在从二向色物镜往待测晶圆的光路延长线上,用于记录探测光的透射信息;光的透射信息包括光的透射强度、位置、发散角中的至少一种; 所述探测光为飞秒脉冲,所述抽运光划片光为脉宽可调的飞秒或皮秒脉冲,且第一探测器和第二探测器的输出信号连接至锁相放大器,用于解调反射及透射信息以反演计算得到抽运光划片光与晶圆的瞬态作用效果,以分析非线性吸收起始点、等离子形成初期、等容加热和绝热膨胀中间态、热冲击波致裂纹生成的超快物理现象瞬态规律。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人郝强;曾和平,其通讯地址为:523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区北部工业城中小科技企业创业园第4栋1层厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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