中科九微科技有限公司张心强获国家专利权
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龙图腾网获悉中科九微科技有限公司申请的专利陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111220320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010140011.5，技术领域涉及：G01L21/00；该发明授权陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法是由张心强;陈林设计研发完成，并于2020-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供的陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法，属于薄膜传感器技术领域，其中，陶瓷电极包括：陶瓷基底、定电极层和支撑结构，所述支撑结构采用电镀方式沉积在陶瓷基底的与所述定电极层所在的同一面上，所述支撑结构与所述陶瓷基底之间具有镀层，所述镀层与所述定电极层的厚度相等；本发明的陶瓷电极，在陶瓷基底的设置电极层的一面，采用丝网印刷或物理气相沉积的方式还设置有电铸前的镀层，然后再在该镀层上设置支撑结构，并且所述支撑结构为通过电铸的方式精确控制厚度，不仅可避免丝网印刷或物理气相沉积的电极层厚度对电极间距的影响，而且还可以精确控制支撑结构的厚度，从而保证传感器的精度。
本发明授权陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷电极，用于设置在薄膜传感器的参考压力腔5内并与膜片电极4相对，其特征在于，包括： 陶瓷基底10； 定电极层7，采用丝网印刷或物理气相沉积的方式设置在所述陶瓷基底10的用于与所述膜片电极4相对的一面上； 支撑结构8，采用电镀方式沉积在所述陶瓷基底10的与所述定电极层7所在的同一面上，所述支撑结构8的顶面适于与膜片电极4直接接触； 所述支撑结构8与所述陶瓷基底10之间具有镀层9，所述镀层9与所述定电极层7的厚度相等，所述镀层9与所述定电极层7同时设置，并同样采用丝网印刷或物理气相沉积的方式设置在陶瓷基底10上。
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