佳能安内华股份有限公司井上忠获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能安内华股份有限公司申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114666965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210269625.2，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权等离子体处理装置是由井上忠;田名部正治;关谷一成;笹本浩;佐藤辰宪;土屋信昭设计研发完成，并于2017-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 巴伦，包括第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子； 被接地的真空容器； 第一电极，被电连接至所述第一平衡端子； 第二电极，被电连接至所述第二平衡端子； 阻抗匹配电路； 第一电源，经由所述阻抗匹配电路连接至所述巴伦，并被配置为经由所述阻抗匹配电路和所述巴伦向所述第一电极供给高频； 低通滤波器；以及 第二电源，被配置为经由所述低通滤波器向所述第一电极供给电压， 其中，当Rp表示从所述第一平衡端子和所述第二平衡端子的侧来看所述第一电极和所述第二电极的侧时的所述第一平衡端子与所述第二平衡端子之间的电阻成分，并且X表示所述第一不平衡端子与所述第一平衡端子之间的电感时，满足1.5≤XRp≤5000。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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