上海大学甄强获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大学申请的专利基于时序多点传感的晶圆加热盘温变均匀性检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120315498B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510790029.2，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权基于时序多点传感的晶圆加热盘温变均匀性检测方法及系统是由甄强;徐致远设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于时序多点传感的晶圆加热盘温变均匀性检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种基于时序多点传感的晶圆加热盘温变均匀性检测方法及系统，该方法是由PLC控制器同时控制旋转式多点检测架和晶圆加热盘的运行，由旋转式多点检测架上的温度传感器阵列，扫描在加热运行状态下的晶圆加热盘一周、多点同步采集，分别得到与晶圆加热盘加热运行参数对应的各点位时序数据、温度数据、空间数据的四要素同步变化的关联数据组；比较四维关联数据组之间的动态变化率，判断各点位之间绝对温度变化误差与动态变化率是否同时处于被允许的范围，得到检测结果，并标示出不合格点位的位置坐标及误差值。本发明系统结构紧凑，方法简便准确，可自动、批量完成对晶圆加热盘的多元温变均匀性检测。
本发明授权基于时序多点传感的晶圆加热盘温变均匀性检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于时序多点传感的晶圆加热盘温变均匀性检测方法，其特征在于，其是由PLC控制器同时控制旋转式多点检测架和晶圆加热盘的运行，由旋转式多点检测架上的温度传感器阵列，按照设定的转速、方向、间隔角度旋转，对晶圆加热盘在加热运行状态下的上表面，扫描至少一周、多点同步采集，分别得到与晶圆加热盘加热运行参数对应的各点位时序数据、温度数据、空间数据的四要素同步变化的关联数据组，即多点同步变化的加热运行参数-时序-温度-空间位置四维关联数据组； 将检测得到的晶圆加热盘上各点位的绝对温度值以及各四维关联数据组之间的动态变化率，与预先设定的允许误差范围进行比较，判断各点位之间绝对温度变化误差与动态变化率是否同时处于被允许的范围，如全部点位同时处于被允许的范围则为合格品，反之为不合格品，标示出不合格点位的位置坐标及误差值，完成对晶圆加热盘整体表面的多元温变均匀性的检测。
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