买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州爵企精密科技有限公司申请的专利一种晶圆擦拭装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120280384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510774107.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆擦拭装置是由陈俊;朱轩;王章宇;谢少波;王凯蓝;鲁银超;鲁卜涛设计研发完成，并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆擦拭装置在说明书摘要公布了：本发明涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种晶圆擦拭装置，包括底座，所述底座上安装有治具台，治具台顶部设有放置槽用于承载晶圆；所述治具台内形成有气腔，放置槽底面设有多个与气腔连通的气口；所述治具台侧边安装有与气腔内部连通的注气管和抽气管；所述底座上滑动安装有两个定位板；通过气口的设置，可根气腔内气流的变化，使得在气口鼓风时，气流会不断吹向晶圆底端面，整个过程形成晶圆底端面持续除杂；在气口由鼓风变成进风时，气口处会形成负压力并与清洁后晶圆底端面形成吸附，使得晶圆固定在放置槽内，规避现有夹具对晶圆夹持固定时形成的损伤，方便工作人员对吸附固定在放置槽内的晶圆标记点处污物的擦拭工作。

本发明授权一种晶圆擦拭装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆擦拭装置，包括底座（1），其特征在于： 所述底座（1）上安装有治具台（11），治具台（11）顶部设有放置槽（111）用于承载晶圆； 所述治具台（11）内形成有气腔（112），放置槽（111）底面设有多个与气腔（112）连通的气口（113）； 所述治具台（11）侧边安装有与气腔（112）内部连通的注气管（12）和抽气管（13），用于选择性控制气腔（112）内气流变化； 所述底座（1）上滑动安装有两个定位板（14），均位于治具台（11）上方，用于限制晶圆脱离放置槽（111）； 所述定位板（14）上贯穿有清洁窗口，用于暴露晶圆待清洁区域； 两个所述定位板（14）顶部均安装有一清洁液喷头（23），清洁液喷头（23）位于两个定位板（14）相邻端，用于向晶圆待清洁区域表面喷射清洁液； 所述定位板（14）的顶端设有可升降调节的支架（2）； 所述支架（2）的四角均安装有转柱（21），且任一转柱（21）可形成持续旋转运动； 四个所述转柱（21）之间紧套有擦拭带（22）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州爵企精密科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区唯文路18号东面(2号厂区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。