江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子源的点火控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252023B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510740220.6，技术领域涉及：F23Q3/00；该发明授权一种远程等离子源的点火控制方法是由潘小刚;束寅志;顾小军;耿涛设计研发完成，并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子源的点火控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了远程等离子源技术领域内的一种远程等离子源的点火控制方法，包括以下步骤：S1：设置气体电流激发阈值，通入激发气体；S2：判断是否接收到点火信号，若接收到则吸合继电器并进入恒流阶段；S3：判断系统点火是否正常，若不正常，则通过自学习式点火阈值校准方法来调整点火电压；S4：提高输出功率，期间通过点火阈值校准方法来调整点火电压；S5：输出功率到达满载功率时进入恒功率阶段；其中，自学习式点火阈值校准方法通过实时采集气体流量、气体压力、腔体温度，利用LSF‑BP模型预测当前负载阻抗值，并据此更新点火电压阈值。该方法根据运行情况动态调整点火阈值，可有效提升点火稳定性，减少设备损伤及维护成本。
本发明授权一种远程等离子源的点火控制方法在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子源的点火控制方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：设置气体电流激发阈值，通入激发气体，基于预设公式计算默认点火电压； S2：判断是否接收到点火信号，若接收到则吸合继电器并进入恒流阶段，通过电流误差调制PWM驱动单元； S3：判断系统点火是否正常，若判定不正常，则通过自学习式点火阈值校准方法来调整点火电压，并重新判断，若判定正常则进入步骤S4； S4：提高输出功率，期间通过所述自学习式点火阈值校准方法来调整点火电压； S5：输出功率到达满载功率时进入恒功率阶段，通过功率误差调制PWM驱动单元从而控制输出功率； 其中，所述自学习式点火阈值校准方法通过实时采集气体流量Q、气体压力P、腔体温度T，利用最小二乘多项式拟合与BP神经网络组合的LSF-BP模型，预测负载阻抗值F，并据此更新点火电压阈值。
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