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西安理工大学穆凌霞获国家专利权

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龙图腾网获悉西安理工大学申请的专利一种硅单晶提拉系统中钨丝绳的耦合振动分析方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120257663B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510732976.6,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权一种硅单晶提拉系统中钨丝绳的耦合振动分析方法是由穆凌霞;冯楠;柴燚鹏设计研发完成,并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅单晶提拉系统中钨丝绳的耦合振动分析方法在说明书摘要公布了:本申请提出一种硅单晶提拉系统中钨丝绳的耦合振动分析方法,属于集成电路硅单晶生长技术领域。本方法包括以下步骤:构建硅单晶提拉系统中钨丝绳的提拉模型,并获取钨丝绳的各项提拉参数;根据各项提拉参数,并利用哈密顿原理构建钨丝绳的非线性振动方程;利用伽辽金方法对非线性振动方程进行离散化处理,得到线性振动方程,对线性振动方程进行求解,并利用求解结果得到钨丝绳的耦合振动分析结果。本申请能够实现对硅单晶提拉系统的振动的抑制,提高了硅单晶的品质。

本发明授权一种硅单晶提拉系统中钨丝绳的耦合振动分析方法在权利要求书中公布了:1.一种硅单晶提拉系统中钨丝绳的耦合振动分析方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: 构建硅单晶提拉系统中钨丝绳的提拉模型,并获取所述钨丝绳的各项提拉参数; 根据各项所述提拉参数,并利用哈密顿原理构建所述钨丝绳的非线性振动方程,包括: 根据各项所述提拉参数,分别计算所述钨丝绳的动能和势能; 将所述钨丝绳的动能和势能均代入所述哈密顿原理的表达式中,并运用变分运算,得到所述钨丝绳的所述非线性振动方程; 所述非线性振动方程包括横向非线性振动方程和纵向非线性振动方程; 所述哈密顿原理的表达式为: 3 其中,表示钨丝绳的提拉过程的总时间,表示变分符号,表示哈密顿算子,表示时刻的微分,表示钨丝绳的动能,表示钨丝绳的势能; 对所述钨丝绳的所述横向振动信号的微分算子进行所述变分运算的表达式为: 4 其中,表示钨丝绳的横向振动信号引起的动能的变分,表示提拉物的质量,表示钨丝绳的纵向提拉速度,表示钨丝绳的横向振动信号的微分算子,,表示钨丝绳的横向振动信号对时刻的一阶偏导的变分,表示钨丝绳的横向振动信号对提拉总长度的一阶偏导的变分,表示钨丝绳的密度,表示钨丝绳在第时刻的提拉长度,表示钨丝绳的提拉总长度的微分; 对所述钨丝绳的所述纵向振动信号的微分算子进行所述变分运算的表达式为: 5 其中,表示钨丝绳的纵向振动信号引起的动能的变分,表示钨丝绳的纵向振动信号的微分算子,,表示钨丝绳的纵向振动信号对时刻的一阶偏导的变分,表示钨丝绳的纵向振动信号对提拉总长度的一阶偏导的变分; 对所述钨丝绳距离所述硅单晶提拉系统的转轴的长度等于所述提拉总长度时的所述横向振动信号进行所述变分运算的表达式为: 6 其中,表示钨丝绳的横向振动信号引起的势能的变分,表示钨丝绳的横向振动信号的变分,表示钨丝绳受到的纵向张力,表示钨丝绳在提拉总长度为时受到的纵向张力,表示钨丝绳的横向振动信号对提拉总长度的一阶偏导,表示钨丝绳的横向振动信号对提拉总长度的二阶偏导,表示钨丝绳的弹性模量,表示重力加速度; 对所述钨丝绳距离所述硅单晶提拉系统的转轴的长度等于所述提拉总长度时的所述纵向振动信号进行所述变分运算的表达式为: 7 其中,表示钨丝绳的纵向振动信号引起的势能的变分,表示钨丝绳的纵向振动信号的变分,表示钨丝绳的纵向振动信号对提拉总长度的一阶偏导,表示钨丝绳的纵向振动信号对提拉总长度的二阶偏导; 所述纵向非线性振动方程的表达式为: 8 其中,表示钨丝绳的纵向振动信号对时刻的二阶偏导,表示钨丝绳的纵向振动信号对时刻和提拉总长度的偏导,表示钨丝绳的纵向提拉速度的导数; 所述横向非线性振动方程的表达式为: 9 其中,表示钨丝绳的横向振动信号对提拉总长度的二阶偏导,表示钨丝绳的横向振动信号对时刻和提拉总长度的偏导; 利用伽辽金方法对所述非线性振动方程进行离散化处理,得到线性振动方程,对所述线性振动方程进行求解,并利用求解结果得到所述钨丝绳的耦合振动分析结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安理工大学,其通讯地址为:710048 陕西省西安市碑林区金花南路5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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