天津大学马雷获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学申请的专利准悬浮石墨烯的制备方法、准悬浮石墨烯及场效应晶体管获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120229714B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510727933.9，技术领域涉及：C01B32/194；该发明授权准悬浮石墨烯的制备方法、准悬浮石墨烯及场效应晶体管是由马雷;田昊;张凯敏;郝路珍设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本准悬浮石墨烯的制备方法、准悬浮石墨烯及场效应晶体管在说明书摘要公布了：本发明提供了一种准悬浮石墨烯的制备方法、准悬浮石墨烯和场效应晶体管，可以应用于石墨烯技术领域。该准悬浮石墨烯的制备方法包括：将在碳化硅衬底上外延生长的半导体石墨烯放入退火炉中，并抽出退火炉中的空气，直至退火炉中的气体压强降至到第一预定压强范围；向具有第一预定压强范围内的退火炉中充入氮气或惰性气体，直至退火炉中氮气或惰性气体压强升至第二预定压强范围；在氮气或惰性气体气氛下对半导体石墨烯进行退火，通过调整退火温度、退火时长以及气体流量中的至少一种参数，将半导体石墨烯转变为准悬浮石墨烯。
本发明授权准悬浮石墨烯的制备方法、准悬浮石墨烯及场效应晶体管在权利要求书中公布了：1.一种准悬浮石墨烯的制备方法，其特征在于，所述方法包括： 将在碳化硅衬底上外延生长的半导体石墨烯放入退火炉中，并抽出所述退火炉中的空气，直至所述退火炉中的气体压强降至到第一预定压强范围，所述第一预定压强范围包括10-5Pa~10-6Pa； 向具有第一预定压强范围内的退火炉中充入氮气或惰性气体，直至所述退火炉中所述氮气或惰性气体压强升至第二预定压强范围，所述第二预定压强范围包括1Pa~103Pa； 在所述氮气或惰性气体气氛下对所述半导体石墨烯进行退火，通过调整退火温度、退火时长以及气体流量中的至少一种参数，将所述半导体石墨烯转变为准悬浮石墨烯，所述退火温度在400℃~850℃之间，所述退火时长在10分钟~60分钟之间，所述气体流量在50sccm~500sccm之间。
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