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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)申请的专利一种用于电子背散射衍射分析的金属箔截面及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120213990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510694343.0，技术领域涉及：G01N23/203；该发明授权一种用于电子背散射衍射分析的金属箔截面及制备方法是由高尚;黄梦诗;刘海涛;马清设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于电子背散射衍射分析的金属箔截面及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于电子背散射衍射分析的金属箔截面及制备方法，属于样品制备技术领域。该制备方法为：剪取金属箔片固定后，置于扫描电子显微镜中，选择金属箔的目标区域，进行电子束沉积，得到含电子束沉积保护层的金属箔；将含电子束沉积保护层的金属箔旋转180°，然后在离子束电流为15nA的条件下进行离子束沉积，得到含离子束沉积保护层的金属箔；对含离子束沉积保护层的金属箔进行倾斜补偿后，使用聚焦离子束的离子束刻蚀在离子束电流为30nA的条件下进行刻蚀，得到用于电子背散射衍射分析的金属箔截面。本发明的制备方法能对于金属箔进行大面积的截面加工，且制备效率高，能满足电子背散射衍射分析的表征效果。

本发明授权一种用于电子背散射衍射分析的金属箔截面及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于电子背散射衍射分析的金属箔截面样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 剪取金属箔片固定在样品夹持台上，得到夹持金属箔的样品台； 将夹持金属箔的样品台置于扫描电子显微镜中，选择金属箔的目标区域；在电子显微镜下选取变形少的截面尖端作为金属箔的目标区域，用于后续沉积；目标区域是金属箔截面尖端距离未变形处5μm的区域； 对金属箔的目标区域进行电子束沉积，在金属箔截面尖端沉积形成电子束沉积保护层，得到含电子束沉积保护层的金属箔；电子束沉积时，电子束电压为1kV，电流为3nA，沉积时间约为30s；沉积的区域大小为280μm长、2μm宽；电子束沉积保护层厚100纳米； 将样品台旋转180°，倾斜样品台至样品台与水平位置的夹角为34°或者32°，使得离子束与金属箔的截面平行，然后在离子束电流为15nA的条件下，在电子束沉积层上进行离子束沉积，在金属箔截面尖端沉积形成离子束沉积保护层，得到含离子束沉积保护层的金属箔；沉积时间1min，所述保护层的规格为300μm~500μm长，2μm宽、1μm厚； 对含离子束沉积保护层的金属箔进行倾斜补偿后，使用聚焦离子束的离子束刻蚀在离子束电流为30nA的条件下进行刻蚀，使得刻蚀后的金属箔表面产生垂直截面，得到用于电子背散射衍射分析的金属箔截面样品；制备得到的垂直截面的一边长300μm~500μm，另一边长10μm~20μm；离子束刻蚀时，加工方式为截面加工模式，加工时间为5min，扫描步长百分比为5%； 倾斜补偿时，继续倾斜角度为2°，此时样品台与水平位置的夹角为36°或者34°。

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