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龙图腾网获悉安徽华创鸿度光电科技有限公司申请的专利一种用于激光诱导的玻璃蚀刻装置及无氟刻蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120208520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510691535.6，技术领域涉及：C03B15/00；该发明授权一种用于激光诱导的玻璃蚀刻装置及无氟刻蚀方法是由孟献国;查根胜;束庆邦;刘厚通设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于激光诱导的玻璃蚀刻装置及无氟刻蚀方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于激光诱导的玻璃蚀刻装置及无氟刻蚀方法，属于玻璃蚀刻技术领域，蚀刻装置包括刻蚀槽和油浴加热装置，能够通过加热碱性无氟蚀刻液的方式提高刻蚀速度，而磁力搅拌子和搅拌桨的复合搅拌系统能够使无氟蚀刻液循环流动，提高刻蚀的均匀性，更有利于蚀刻反应的稳定进行；无氟刻蚀方法采用无氟刻蚀液，不含氢氟酸，安全环保，能够避免通孔特征劣化。在氟碳表面活性剂的作用下，蚀刻液具备极好的浸润性，其中的氢氧化钠、氢氧化钾能够对激光诱导后的玻璃进行高选择性刻蚀；无氟刻蚀后的玻璃表面光洁度高，具有更高的通孔圆度，并且通孔的表面和内壁光滑，通孔内壁粗糙度＜1μm，通孔锥度更小，达到很好的刻蚀效果。

本发明授权一种用于激光诱导的玻璃蚀刻装置及无氟刻蚀方法在权利要求书中公布了：1.一种用于激光诱导的玻璃无氟刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤： 将无氟蚀刻液注入刻蚀槽（4）中，利用油浴加热装置将蚀刻液加热至50-70℃，在1000-2000rmin的搅拌速度下使无氟蚀刻液循环流动，将激光诱导后的玻璃浸入无氟蚀刻液中刻蚀30-120min，冷却至室温后继续刻蚀10-20min，取出玻璃，清水洗涤后真空干燥，完成所述无氟刻蚀方法； 玻璃蚀刻装置包括刻蚀槽（4）和油浴加热装置，其特征在于，所述油浴加热装置包括磁力搅拌加热器（1）和充注有导热油的油浴锅（3），所述油浴锅（3）放置在磁力搅拌加热器（1）上，刻蚀槽（4）放置在油浴锅（3）中，所述刻蚀槽（4）底部设置有可通过磁力搅拌加热器（1）磁力驱动的磁力搅拌子（8）； 所述玻璃蚀刻装置还包括设置有长横杆支架（2），长横杆上固定有电机（5），所述电机（5）的输出轴固定有伸入刻蚀槽（4）内部的搅拌桨（7）； 所述无氟蚀刻液按质量百分数计包括如下组分： 氢氧化钠1-50%、氢氧化钾0.1-10%、氟碳表面活性剂0.1-5%、双功能纳米颗粒1-5%，余量为水； 所述双功能纳米颗粒通过如下步骤制备： 将钇掺杂氧化锆纳米粉末通过3-氨基丙基三乙氧基硅烷处理，得到氨基改性钇掺杂氧化锆纳米粉末；将氨基改性钇掺杂氧化锆纳米粉末、吡啶和甲苯加入反应釜中搅拌混合，加入2-溴异丁基酰溴，4-5℃和200-300rmin搅拌50-60min，20-25℃搅拌10-12h，离心过滤，将沉淀洗涤，干燥，得到接枝有2-溴异丁酰亚胺的接枝改性钇掺杂氧化锆纳米粉末； 将无水溴化铜、L-抗坏血酸和混合溶剂加入反应釜中，20-25℃和200-300rmin搅拌10-15min，加入三2-二甲氨基乙基胺，搅拌5-10min，在氮气保护和10-15℃的条件下，将接枝改性钇掺杂氧化锆纳米粉末和10wt%的3-氟苯乙烯溶液加入反应釜中，搅拌反应2-3h，再加入27wt%的N-异丙基丙烯酰胺溶液，搅拌反应4-5h，离心过滤，将滤饼洗涤，干燥，得到双功能纳米颗粒。

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