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龙图腾网获悉上海星纳电子科技有限公司申请的专利一种晶圆多功能测量及分选装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120190136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510677651.2，技术领域涉及：B07C5/00；该发明授权一种晶圆多功能测量及分选装置是由李福荣;李昆林设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆多功能测量及分选装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆多功能测量及分选装置，包含：输送平台、双皮带输送模块、供料模块、第一上料模块、第二上料模块、对中模块、检测模块和分选模块；其中，输送平台上设置有一对平行的第一限位槽；双皮带输送模块设置在输送平台上；供料模块和双皮带输送模块相邻布置，用于提供晶圆；第一上料模块与供料模块相衔接，用于将供料模块内的晶圆送出；与第一上料模块相衔接，用于将晶圆送至双皮带输送模块；对中模块设置在输送平台上，用于晶圆的对中；检测模块设置在输送平台上，用于检测晶圆的性能；分选模块和检测模块相衔接，用于将晶圆分开存放。本发明能够实现晶圆的自动、稳定输送、多种性能的精确检测以及合格与不合格晶圆的自动分选。

本发明授权一种晶圆多功能测量及分选装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆多功能测量及分选装置，其特征在于，包含： 输送平台，所述输送平台上设置有一对平行的第一限位槽； 双皮带输送模块，所述双皮带输送模块设置在所述输送平台上； 供料模块，所述供料模块和所述双皮带输送模块相邻布置，用于提供晶圆； 第一上料模块，所述第一上料模块与所述供料模块相衔接，用于将所述供料模块内的晶圆送出； 第二上料模块，与所述第一上料模块相衔接，用于将晶圆送至所述双皮带输送模块； 对中模块，所述对中模块设置在所述输送平台上，用于所述晶圆的对中； 检测模块，所述检测模块设置在所述输送平台上，用于检测所述晶圆的性能； 分选模块，所述分选模块和所述检测模块相衔接，用于将合格与不合格的晶圆分开存放； 所述双皮带输送模块包含： 一对第一输送带，所述一对第一输送带分别与所述一对第一限位槽滑动连接，所述第一限位槽用于限制所述第一输送带的位置； 一对第一驱动机构，一对所述第一驱动机构分别设置在所述输送平台两端，用于驱动所述第一输送带运动； 张紧机构，所述张紧机构设置在所述输送平台下方，与所述第一输送带相连，用于张紧所述第一输送带； 所述供料模块包含： 料盒，所述料盒上设置有若干插料槽，所述插料槽用于放置晶圆；所述料盒底部设置有第一开口； 定位治具，所述定位治具用于所述料盒的定位，所述定位治具上设置有第二开口，所述第二开口与所述第一开口相衔接； 直线模组，所述直线模组的输出端与所述定位治具相连，可驱动所述定位治具上下运动； 所述张紧机构包含： 第一固定架； 一对导向轴，一对所述导向轴的两端分别通过支座与第一固定架可拆卸地连接； 滑动架，所述滑动架与所述一对导向轴滑动连接，所述滑动架上设置有一对第一张紧轮； 拉簧，所述拉簧一端与所述滑动架相连，另一端与所述第一固定架连接； 第二固定架，所述第二固定架与所述第一固定架可拆卸地连接，所述第二固定架上设置有一对第二张紧轮； 所述张紧机构还包含： 第三固定架，所述第三固定架与所述第一固定架可拆卸地连接，所述第三固定架上设置有一对第三张紧轮，所述一对第三张紧轮与所述一对第一张紧轮一一对应； 第四固定架，所述第四固定架与所述第一固定架相连； 第四张紧轮，所述第四张紧轮两端与所述第四固定架相连； 所述拉簧一端与滑动架相连，另一端与所述第四张紧轮相连。

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