伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司郭书周获国家专利权
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龙图腾网获悉伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司申请的专利一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223189245U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422517515.0,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构是由郭书周设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构,涉及镀膜机组件技术领域,包括容器,容器上端开口设置,容器上端设置有密封盖,密封盖底部固定安装有环形限位部,环形限位部插入容器内。容器外设置有驱动机构,驱动机构与连接轴相连并用于带动环形托板翻转,容器内固定安装有支撑板,支撑板上固定安装有存放槽,存放槽内放置有坩埚,本设计的一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构,镀膜过程中第一电机通过同步带机构带动连接轴转动,环形托板和其上的基片绕连接轴转动,从而带动基片翻转,通过翻转基片,可以确保蒸镀材料在基片的不同区域上获得均匀覆盖。
本实用新型一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构在权利要求书中公布了:1.一种新型真空镀膜机用的热蒸发机构,其特征在于,包括:容器1,所述容器1上端开口设置,所述容器1上端设置有密封盖2,所述密封盖2底部固定安装有环形限位部3,所述环形限位部3插入所述容器1内; 所述容器1内设置有环形托板4,所述环形托板4两侧均固定安装有连接轴5,所述连接轴5可转动安装在所述容器1上,所述环形托板4为铁质,所述环形托板4上设置有压板6,所述压板6为环形,所述压板6底部固定安装有环形磁铁7,所述环形磁铁7吸附在所述环形托板4上,所述容器1外设置有驱动机构,所述驱动机构与所述连接轴5相连并用于带动环形托板4翻转,所述容器1内固定安装有支撑板8,所述支撑板8上固定安装有存放槽10,所述存放槽10内放置有坩埚9,所述坩埚9的外沿部支撑在所述存放槽10上,所述存放槽10内装有导热油液,所述坩埚9底部固定连接有加热丝11。
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