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苏州瑞而美光电科技有限公司王峰获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州瑞而美光电科技有限公司申请的专利一种掩膜版检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193267U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422507536.4,技术领域涉及:G03F1/82;该实用新型一种掩膜版检测装置是由王峰;赵海琴设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种掩膜版检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及检测装置技术领域,且公开了一种掩膜版检测装置,包括:检测箱其内部设置有放置板,用于放置掩膜版;风机设置于检测箱的外侧壁;吸风口设置于检测箱的内侧的壁,并与风机连接;检测箱的内部设置有清理组件,清理组件包括:横杆一端插入检测箱的内部;板体设置于横杆的一端;转动杆设置于板体的底部;该检测装置,通过清理组件利用电机带动转动杆旋转,在转动杆旋转的同时会带动齿轮啮合从而使得所有转动杆一起转动,转动杆底部的清理刷跟随转动可以对掩膜版的表面进行清理。相比于现有装置清理效果更好。该检测装置,通过调节组件利用螺纹套的转动可以调节螺纹杆的高度,从而控制放置板升降,便于适用于不同厚度的掩膜版。

本实用新型一种掩膜版检测装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版检测装置,包括: 检测箱(11),其内部设置有放置板(12),用于放置掩膜版; 风机(13),设置于所述检测箱(11)的外侧壁; 吸风口(14),设置于所述检测箱(11)的内侧的壁,并与所述风机(13)连接; 其特征在于:所述检测箱(11)的内部设置有清理组件(2),所述清理组件(2)包括: 横杆(21),一端插入所述检测箱(11)的内部; 板体(22),设置于所述横杆(21)的一端; 转动杆(23),设置于所述板体(22)的底部; 清理刷(24),设置于所述转动杆(23)的底端; 齿轮(25),固定套设于所述清理刷(24)的外侧壁,且所述齿轮(25)互相啮合; 电机(26),设置于所述板体(22)的顶部,且输出轴贯穿所述板体(22)与所述转动杆(23)连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州瑞而美光电科技有限公司,其通讯地址为:215488 江苏省苏州市太仓市科教新城子冈路27号6号楼8楼801室LA25;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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