苏州瑞而美光电科技有限公司王峰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州瑞而美光电科技有限公司申请的专利一种掩膜版清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193268U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422507540.0,技术领域涉及:G03F1/82;该实用新型一种掩膜版清洗装置是由王峰;赵海琴设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及清洗装置技术领域,且公开了一种掩膜版清洗装置,包括:浸泡箱其内部设置有放置板;浸泡箱的内部设置有升降组件,升降组件包括:滑块设置于放置板的外侧壁;立杆底端贯穿滑块,并与浸泡箱的内侧壁连接;螺纹杆一端插入浸泡箱的内部,并与浸泡箱转动连接;横板被螺纹杆贯穿,并与螺纹杆螺纹连接;连接杆转动设置于横板的顶部,并顶端与放置板转动连接;该清洗装置,通过升降组件利用螺纹杆的转动带动横板移动从而带动连接杆转动,使得连接杆一端推动放置板升降,相比于现有装置在控制放置板升降的时候幅度更大,便于使用。该清洗装置,通过夹持组件,利用弹簧拉动拉扭带动拉杆推动夹板对掩膜版进行夹持固定,稳定掩膜版的位置。
本实用新型一种掩膜版清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版清洗装置,包括: 浸泡箱(11),其内部设置有放置板(12); 其特征在于:所述浸泡箱(11)的内部设置有升降组件(2),所述升降组件(2)包括: 滑块(21),设置于所述放置板(12)的外侧壁; 立杆(22),底端贯穿所述滑块(21),并与所述浸泡箱(11)的内侧壁连接; 螺纹杆(23),一端插入所述浸泡箱(11)的内部,并与所述浸泡箱(11)转动连接; 横板(24),被所述螺纹杆(23)贯穿,并与所述螺纹杆(23)螺纹连接; 连接杆(25),转动设置于所述横板(24)的顶部,并顶端与所述放置板(12)转动连接。
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