芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司咸峰获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利加热装置以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223189256U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422501092.3，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型加热装置以及半导体制造设备是由咸峰设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种加热装置以及半导体制造设备，加热装置包括：加热器以及载台；载台用于承载加热器；加热器具有加热面，加热面用于加热晶圆；加热器与载台相连接的位置设置有支撑件，支撑件与加热器的边沿相抵靠，用于向加热器的边沿提供支撑力；其中，支撑件与加热器的边沿的接触面和载台所在平面之间呈角度设置。如此配置，通过在加热器和载台的连接位置设置支撑件，并与加热器的边沿相抵靠，从而向加热器的边沿提供支撑力，以防止加热器的边沿下塌；同时，支撑件与加热器的边沿的接触面为斜面，使得支撑件能够提供由加热器的边沿向中心的作用力，保证了加热器在移动过程中不会出现边沿下塌的情况，进一步提升了产品良率。
本实用新型加热装置以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热器以及载台； 所述载台用于承载所述加热器； 所述加热器具有加热面，所述加热面用于加热晶圆； 所述加热器与所述载台相连接的位置设置有支撑件，所述支撑件与所述加热器的边沿相抵靠，用于向所述加热器的边沿提供支撑力； 其中，所述支撑件与所述加热器的边沿的接触面和所述载台所在平面之间呈角度设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路508号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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