北京特思迪半导体设备有限公司陈艳东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利一种寻边机构及定心寻边机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193794U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422483508.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种寻边机构及定心寻边机构是由陈艳东;寇明虎设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种寻边机构及定心寻边机构在说明书摘要公布了：本申请提供一种寻边机构，用于对晶圆的定位边进行寻边，属于晶圆加工技术领域，包括：定位基座，用于放置所述晶圆，所述定位基座的中心与所述晶圆的圆心位于同一轴线，所述定位基座上设有适于向上方吹气的至少两个吹气孔，所述至少两个吹气孔适于连通气源，所述至少两个吹气孔中心连线形成的线型轮廓与所述定位边的线型轮廓一致，所述至少两个吹气孔位于所述定位基座上与预期晶圆方位的定位边所处位置的对应位置处；检测机构，用于检测所述吹气孔是否被所述晶圆遮挡，当检测到所述至少两个吹气孔全部没有被所述晶圆遮挡时，所述晶圆的定位边与所述至少两个吹气孔形成的所述线型轮廓互为等距线。解决了相关技术中晶圆定心寻边成本较高的缺陷。
本实用新型一种寻边机构及定心寻边机构在权利要求书中公布了：1.一种寻边机构，用于对晶圆的定位边进行寻边，其特征在于，包括： 定位基座1，用于放置所述晶圆，所述定位基座1的中心与所述晶圆的圆心位于同一轴线，所述定位基座1上设有适于向上方吹气的至少两个吹气孔11，所述至少两个吹气孔11适于连通气源，所述至少两个吹气孔11中心连线形成的线型轮廓与所述定位边的线型轮廓一致，所述至少两个吹气孔11位于所述定位基座1上与预期晶圆方位的定位边所处位置的对应位置处； 检测机构，与所述至少两个吹气孔11对应设置，用于检测所述吹气孔11内的气压值，当检测到所述至少两个吹气孔11气压值均减小且减小后的气压值一致时，所述晶圆的定位边与所述至少两个吹气孔11形成的所述线型轮廓互为等距线。
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