重庆净锋半导体有限公司李雷获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆净锋半导体有限公司申请的专利一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223186202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422475238.1,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置是由李雷设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体晶圆加工技术领域,具体涉及一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置;包括箱体、旋转主轴和辅助组件,箱体顶部设置有驱动组件,辅助组件包括导向板、移动架、真空吸盘、砂轮夹具、拉杆、支撑板、护板和升降构件,更换砂轮本体时先将护板安装在支撑板上,通过扳手转动拉杆使其放松,放松后用手拖住砂轮本体并继续转动拉杆,当拉杆与砂轮夹具完全脱离后,向上抽出拉杆,这时,砂轮夹具可直接从旋转主轴上向下拔出,因晶圆和砂轮本体间设置了护板,当砂轮本体不小心掉落时,将不会对晶圆造成直接冲击,进而可在进行半导体晶圆减薄打磨加工时,可提高砂轮更换时的安全性,更有利于晶圆安全加工使用。
本实用新型一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置在权利要求书中公布了:1.一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置,包括箱体和旋转主轴,所述箱体顶部设置有驱动组件,所述旋转主轴与所述箱体转动连接,并位于所述箱体顶部,其特征在于, 还包括辅助组件; 所述辅助组件包括导向板、移动架、真空吸盘、砂轮夹具、拉杆、支撑板、护板和升降构件,所述导向板与所述箱体固定连接,并位于所述箱体内,所述移动架与所述导向板滑动连接,并位于所述导向板一侧,所述真空吸盘固定设置在所述移动架顶部,所述砂轮夹具上固定设置有砂轮本体,所述砂轮夹具与所述旋转主轴拆卸连接,并位于所述旋转主轴底部,所述拉杆与所述旋转主轴拆卸连接,并与所述砂轮夹具螺纹连接,且位于所述旋转主轴靠近所述砂轮夹具一侧,所述支撑板与所述导向板固定连接,并位于所述导向板两侧,所述护板与所述支撑板拆卸连接,并位于所述支撑板之间,所述升降构件设置在所述移动架下方。
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