光驰科技(上海)有限公司黄永长获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种工件装载架及真空处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223189252U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422481191.X，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种工件装载架及真空处理设备是由黄永长;龙汝磊;吴萍;孙跃设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工件装载架及真空处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空处理技术领域，具体公开了一种工件装载架及真空处理设备，该工件装载架包括安装架、转动架和安装治具；安装架上转动设有第一转轴，第一转轴传动连接于安装部，第一转轴具有第一轴端部；转动架连接于第一转轴；转动架上转动设有第二转轴，第二转轴具有第二轴端部；安装治具连接于第二转轴；在第一转轴的轴线方向上，相对于第二轴端部，第一轴端部设于远离安装部的一侧。本实用新型中缩减了工件装载架在轴线方向上的长度，减少工件装载架整体在真空处理腔室内的占用空间，进而在规格和体积有限的腔室条件下，提高了空间利用率以及处理空间，提升了真空处理设备的装载量，以此满足终端对于单台设备装载量的要求。
本实用新型一种工件装载架及真空处理设备在权利要求书中公布了：1.一种工件装载架，能够安装于安装部5，其特征在于，所述工件装载架包括： 安装架2，所述安装架2上转动设有第一转轴11，所述第一转轴11传动连接于所述安装部5，所述第一转轴11具有第一轴端部111； 转动架3，所述转动架3连接于所述第一转轴11；所述转动架3上转动设有第二转轴31，所述第二转轴31具有第二轴端部311；所述第一转轴11能够带动所述转动架3相对于所述安装架2旋转，以使所述第二转轴31围绕所述第一转轴11相对于所述安装架2旋转；所述第二转轴31传动连接于所述安装架2，当所述第二转轴31围绕所述第一转轴11相对于所述安装架2旋转时，所述安装架2的驱动端能够驱动所述第二转轴31自转； 安装治具4，所述安装治具4连接于所述第二转轴31； 在所述第一转轴11的轴线方向上，相对于所述第二轴端部311，所述第一轴端部111设于远离所述安装部5的一侧。
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