苏州材装半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州材装半导体设备有限公司申请的专利一种退火装置用废气监测装置及废气监测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193770U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422471323.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种退火装置用废气监测装置及废气监测系统是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种退火装置用废气监测装置及废气监测系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种退火装置用废气监测装置及废气监测系统，其中，废气监测装置包括连接管路、压力检测元件、流量检测元件以及控制元件；连接管路的一端形成接入端，所述接入端用于与所述退火腔体连接并接收所述退火腔体内的废气；压力检测元件设置在所述连接管路上，所述压力检测元件用于检测所述连接管路内的压力；流量检测元件与所述连接管路连接，所述流量检测元件用于检测所述连接管路内的流量；控制元件，与所述压力检测元件和所述流量检测元件连接并用于监测所述连接管路内的废气流动。本实用新型的废气监测装置及废气监测系统用于监测退火腔体的废气排放，以确保退火腔体内的废气正常排出并确保钙钛矿薄膜的成核结晶质量。
本实用新型一种退火装置用废气监测装置及废气监测系统在权利要求书中公布了：1.一种退火装置用废气监测装置，所述退火装置包括退火腔体，其特征在于，所述废气监测装置包括： 连接管路1，一端形成接入端11，所述接入端11用于与所述退火腔体连接并接收所述退火腔体内的废气； 压力检测元件2，设置在所述连接管路1上，且所述压力检测元件2位于所述接入端11沿气体流动方向的下游，所述压力检测元件2用于检测所述连接管路1内的压力； 流量检测元件3，与所述连接管路1连接，且所述流量检测元件3位于所述接入端11沿气体流动方向的下游，所述流量检测元件3用于检测所述连接管路1内的流量； 控制元件，与所述压力检测元件2和所述流量检测元件3连接并用于监测所述连接管路1内的废气流动。
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