荣耀电子材料(重庆)有限公司洪巧水获国家专利权
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龙图腾网获悉荣耀电子材料(重庆)有限公司申请的专利晶圆盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193779U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422487917.0,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型晶圆盒是由洪巧水;朱明伟;刘小波设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆储放技术领域,具体公开了一种晶圆盒,包括第一盖体和第二盖体;第一盖体与第二盖体扣合形成容纳腔;容纳腔内层叠放置有多个晶圆托盘,每个晶圆托盘上形成用于容置晶圆片的圆形沉台,圆形沉台侧壁上开设有沿径向延伸的晶圆取放槽。本申请方便对晶圆片进行快速取放,有效降低晶圆片破碎风险。
本实用新型晶圆盒在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒100,其特征在于,包括第一盖体101和第二盖体102;所述第一盖体101与第二盖体102扣合形成容纳腔103;所述容纳腔103内层叠放置有多个晶圆托盘104,每个所述晶圆托盘104上形成用于容置晶圆片的圆形沉台105,所述圆形沉台105侧壁上开设有沿径向延伸的晶圆取放槽106。
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