荣耀电子材料(重庆)有限公司洪巧水获国家专利权
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龙图腾网获悉荣耀电子材料(重庆)有限公司申请的专利晶圆清洗架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193780U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422497096.9,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型晶圆清洗架是由洪巧水;朱明伟;刘小波设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗架在说明书摘要公布了:一种晶圆清洗架,涉及半导体制造技术领域。该晶圆清洗架包括相对设置的两个挡板;两个所述挡板之间连接有相互平行的提手杆、连接杆、支撑杆、侧挡杆和压杆;所述提手杆位于所述挡板的顶部,所述连接杆和所述支撑杆均位于所述挡板的底部,且所述支撑杆配置成支撑所述晶圆的底部,所述侧挡杆配置成抵接所述晶圆的侧部,所述压杆配置成压接所述晶圆的顶部。本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗架,可有效降低晶圆在清洗过程中的晃动,避免了晶圆脱落于晶圆清洗架,从而有效保护了晶圆,降低了在清洗时晶圆的损伤概率。
本实用新型晶圆清洗架在权利要求书中公布了:1.一种晶圆清洗架,用于承载晶圆,其特征在于,包括相对设置的两个挡板; 两个所述挡板之间连接有相互平行的提手杆、连接杆、支撑杆、侧挡杆和压杆;所述提手杆位于所述挡板的顶部,所述连接杆和所述支撑杆均位于所述挡板的底部,且所述支撑杆配置成支撑所述晶圆的底部,所述侧挡杆配置成抵接所述晶圆的侧部,所述压杆配置成压接所述晶圆的顶部。
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