江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种半导体清洗设备用工艺槽及半导体清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422451066.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体清洗设备用工艺槽及半导体清洗设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗设备用工艺槽及半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体清洗设备用工艺槽及半导体清洗设备，工艺槽包括:槽体，具有容置腔；槽盖，适于安装在槽体上，槽盖上设置有与容置腔连通的装载口，装载口被配置为供半导体器件进出容置腔；盖板，可相对于装载口运动，以打开装载口或封闭装载口；槽盖具有相对设置的第一端和第二端，于工艺槽高度方向上，第一端高于第二端，从而能够使得槽盖上滴落的不同清洗液在重力作用下自然流向第二端并排出，防止出现不同清洗液交叉污染的情况出现。
本实用新型一种半导体清洗设备用工艺槽及半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备用工艺槽，其特征在于，包括: 槽体，具有容置腔； 槽盖，适于安装在所述槽体上，所述槽盖上设置有与所述容置腔连通的装载口，所述装载口被配置为供半导体器件进出所述容置腔； 盖板，可相对于所述装载口运动，以打开所述装载口或封闭所述装载口； 其中，所述槽盖具有相对设置的第一端和第二端，于所述工艺槽高度方向上，所述第一端高于所述第二端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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