石家庄钨铱电子科技有限公司张国昌获国家专利权
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龙图腾网获悉石家庄钨铱电子科技有限公司申请的专利一种硅片用烘干装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223192022U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422441476.0,技术领域涉及:F26B11/18;该实用新型一种硅片用烘干装置是由张国昌;徐会武;王凤涛;牛子龙;冯聪聪设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片用烘干装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种硅片用烘干装置,属于硅片烘干技术领域,包括烘干箱体、夹紧组件及驱动器,烘干箱体内部安装有烘干器;夹紧组件包括固定件、支撑件及两个夹紧件;固定件与烘干箱体转动连接;支撑件固设于固定件上;两个夹紧件固设于固定件上,且位于支撑件上方;两个夹紧件具有沿硅片周向转动而夹紧或松开硅片的自由度;固定件上设有控制两个夹紧件转动的限位件;驱动器设于烘干箱体内,且与固定件传动连接。本实用新型提供的硅片用烘干装置,借助支撑件和两个夹紧件固定硅片,减少夹紧组件与硅片的接触面积,同时利用驱动器驱动固定件转动,并带动硅片转动,进而使烘干箱体内部的气体流动,从而更快地烘干硅片。
本实用新型一种硅片用烘干装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片用烘干装置,其特征在于,包括: 烘干箱体,内部安装有烘干器; 夹紧组件,设于所述烘干箱体内;所述夹紧组件包括固定件、支撑件及两个夹紧件;所述固定件安装于所述烘干箱体内壁上,且与所述烘干箱体转动连接;所述支撑件固设于所述固定件上,所述支撑件上设有用于限定硅片安装位置的安装槽;两个所述夹紧件固设于所述固定件上,且位于所述支撑件上方,两个所述夹紧件间隔布置,且与所述支撑件之间形成用于容纳硅片的容纳腔;两个所述夹紧件具有沿硅片周向转动而夹紧或松开硅片的自由度;所述固定件上设有控制两个所述夹紧件转动的限位件; 驱动器,设于所述烘干箱体内,且与所述固定件传动连接,用于驱动所述固定件转动。
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