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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种晶圆键合量测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223192302U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422447250.1，技术领域涉及：G01B11/02；该实用新型一种晶圆键合量测装置是由童洋设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆键合量测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆键合量测装置，包括底板、移动控制装置、卡盘台、卡盘、支撑顶针、光源发射装置和光源接收装置；卡盘台为环形结构，环形结构外边缘设置有至少三个第一连接部件；卡盘为与卡盘台面积相同的透光性盘结构，卡盘外边缘设置与第一连接部件相对应的第二连接部件，卡盘通过第二连接部件与第一连接部件连接固定在卡盘台上。在测量时，能保证卡盘支撑晶圆的稳定性，并且卡盘不会遮挡晶圆上方的光源发射装置发射出来的穿过晶圆的光线，进而不会阻挡光源接收装置接收该光线，避免了光源接收装置存在视野盲区，使得该量测装置能测量到晶圆上的所有的标记点，进而保障了量测结果的完整性，提高了晶圆的良率。

本实用新型一种晶圆键合量测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合量测装置，用于测量两片带有标记点的晶圆键合后标记点的偏移量，其特征在于，所述装置包括底板、移动控制装置、卡盘台、卡盘、支撑顶针、光源发射装置和光源接收装置； 所述光源发射装置下方自上而下依次设置有所述底板和所述支撑顶针； 所述底板中心设置有一圆孔，所述圆孔内设置有所述光源接收装置；所述底板上表面设置有所述移动控制装置，所述移动控制装置与所述卡盘台相连，驱动所述卡盘台在所述底板上移动； 所述卡盘台为环形结构，所述环形结构底部设置有一圈气孔，所述环形结构外边缘设置有至少三个第一连接部件；所述卡盘为与所述卡盘台面积相同的透光性盘结构，所述卡盘外边缘设置与所述第一连接部件相对应的第二连接部件，所述卡盘通过所述第二连接部件与所述第一连接部件连接固定在所述卡盘台上；所述卡盘中心设置有与所述支撑顶针相对应的第一贯穿孔，所述底板设置有晶圆装载区，所述晶圆装载区设置有与所述支撑顶针相对应的第二贯穿孔； 工作状态时，所述移动控制装置驱动所述卡盘台在所述底板上移动至所述晶圆装载区，所述第一贯穿孔与所述第二贯穿孔对准，所述支撑顶针上升穿过所述第二贯穿孔和第一贯穿孔承接所述晶圆放至所述卡盘上，所述移动控制装置驱动所述卡盘台至所述光源接收装置处，所述光源发射装置发射光线穿过晶圆，所述光源接收装置接收所述发射光线。

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