苏州励索精密装备科技有限公司董大伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州励索精密装备科技有限公司申请的专利光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193271U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422443160.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备是由董大伟;刘宏伟设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备。其包括用于配合照明系统顶部安装的可转动底座、均匀分布设置在所述可转动底座上用来测量轴心度的若干组测量组件以及设置在上可转动底座中心位置处且用来模拟均匀光系统光照轴的仿形轴管，所述仿形轴管为圆柱状，其上半部分圆柱形直径与均匀光系统的直径一致，下半部分圆柱形直径与照明系统的直径一致，且两者的轴心完全重合。本实用新型的有益之处：本技术方案真实模拟均匀光系统的轴心与照明系统轴心，并将圆盘安装在照明系统上，根据偏差对照明系统进行调节，可以实现动态监测不同平面轴心的差异，从而使得量测调校更为简单，且不易造成偏差。
本实用新型光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备，其特征在于：其包括用于配合照明系统顶部安装的可转动底座、均匀分布设置在所述可转动底座上用来测量轴心度的若干组测量组件以及设置在上可转动底座中心位置处且用来模拟均匀光系统光照轴的仿形轴管，所述仿形轴管为圆柱状，其上半部分圆柱形直径与均匀光系统的直径一致，下半部分圆柱形直径与照明系统的直径一致，且两者的轴心完全重合，所述测量组件包括设置在所述可转动底座上的安装底块、通过螺母固定安装在所述安装底块上的安装块、置于所述安装块一侧且可转动的表具，所述表具的测量探头部分可伸缩移动置于所述安装块内；所述表具的测量探针均指向与所述可转动底座的圆心位置。
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