烟台齐新半导体技术研究院有限公司季塬鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利管路防堵结构及半导体生产设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223191301U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422423572.2,技术领域涉及:F16L55/24;该实用新型管路防堵结构及半导体生产设备是由季塬鸣设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本管路防堵结构及半导体生产设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种管路防堵结构及半导体生产设备,所述管路防堵结构,用于工艺尾气处理,包括连接设置的气体输送管和吹扫管,所述气体输送管用于输送工艺尾气,所述吹扫管用于与外部气源连接,以向所述气体输送管中通入吹扫气体;所述吹扫管固定于所述气体输送管的外壁上,且所述吹扫管的中轴线倾斜于所述气体输送管的横截面设置,同时,所述吹扫管的中轴线倾斜于所述气体输送管的轴截面设置。本申请提供的管路防堵结构及半导体生产设备的防结晶效果好,可有效防止管路内部堵塞,且生产成本低,具有显著的经济效益。
本实用新型管路防堵结构及半导体生产设备在权利要求书中公布了:1.一种管路防堵结构,用于工艺尾气处理,其特征在于,包括连接设置的气体输送管1和吹扫管2,所述气体输送管1用于输送工艺尾气,所述吹扫管2用于与外部气源连接,以向所述气体输送管1中通入吹扫气体;所述吹扫管2固定于所述气体输送管1的外壁上,且所述吹扫管2的中轴线倾斜于所述气体输送管1的横截面设置,同时,所述吹扫管2的中轴线倾斜于所述气体输送管1的轴截面设置。
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