东京毅力科创株式会社富田尚宏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210039073.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置是由富田尚宏;小川纯一设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置。等离子体处理装置具备沿着与窗构件对应的虚拟矩形平面配置的多个天线线圈，多个天线线圈的各天线线圈的一端与高频电源连接，且另一端经由电流计来与接地电位连接，虚拟矩形平面的至少一部分被划分为分别配置多个天线线圈中的任一天线线圈的多个区域，虚拟矩形平面具有被划分为多个合并区域的部分，各合并区域是将在虚拟矩形平面中配置于对称的位置的区域组合而成的，等离子体处理装置的异常探测方法包括以下工序：比较在多个合并区域的各合并区域中所包括的各区域配置的天线线圈的评价值，计算最大值与最小值之差，基于差来探测异常。
本发明授权等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置的异常探测方法， 所述等离子体处理装置具备沿着与矩形平面状的窗构件对应的虚拟矩形平面配置的多个天线线圈，所述窗构件与在对基板进行处理的处理腔室的内部载置所述基板的载置台的载置面相向，并将所述处理腔室的内部划分为上部和下部， 所述多个天线线圈的各天线线圈的一端与高频电源连接，另一端经由电流计来与接地电位连接， 所述虚拟矩形平面的至少一部分被划分为分别配置所述多个天线线圈中的任一天线线圈的多个区域， 所述虚拟矩形平面具有被划分为多个合并区域的部分，各所述合并区域是将在所述虚拟矩形平面中配置于对称的位置的所述区域组合而成的， 所述等离子体处理装置的异常探测方法包括以下工序： 通过所述电流计测定所述多个天线线圈的各天线线圈的电流随时间的变化； 针对所述多个天线线圈的各天线线圈，计算基于所述电流随时间的变化的评价值；以及 计算在所述多个合并区域的各合并区域中所包括的各所述区域配置的所述天线线圈的所述评价值的最大值与最小值之差，基于所述差来探测异常。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号